OTF-1200X-80-III-F3LV 1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

殼體結構

• 雙層殼體結構并帶有風冷，使得殼體的表面溫度小于60度
• 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環(huán)保節(jié)能
• 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
• 可開啟式，更換爐管方便

功率

5 KW

電壓

AC 208-240V單相, 50/60 Hz

加熱元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

工作溫度

1200oC

連續(xù)工作溫度

1100oC

加熱速率

<= 20 oC /min

石英管&

密封法蘭

• 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi)
• 儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭，壓力表和閥門

加熱區(qū)長度

• 三個溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total)
• 溫區(qū) 1: 220mm (8.6" )
• 溫區(qū) 2: 440mm (17.3")
• 溫區(qū) 3: 220 mm (8.6")

溫控系統(tǒng)

• 三個精密溫度控制器，可獨立控溫
• PID控制方式,通過PWM固體繼電器。
• 30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀，并可設置30段升降溫程序.
• 帶有過熱和斷偶保護功能

控溫精度

+/- 1oC

真空密封系統(tǒng)

• 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥）.
• 通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵，真空度可以達到, 10-4 torr.
• 漏氣率 < 5 m-torr / min

真空泵

• 采用雙旋機械泵，機械泵上安裝有進口的油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護環(huán)境和人體健康，過濾的最小微粒直徑為0.3微米。

數(shù)字式真空顯示計

• 美國進口CVM-211,已安裝在不銹鋼法蘭上，測量范圍為10-4Torr~1000Torr
• 可選：本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換
  
  

氣體流量計和壓力表

• 三個浮子流量計(準確率4%FS)，能夠檢測到氣體的流
• 三路浮子量程分別為
• 10-100 cc/min.
• 16-160 cc/min.
• 25-250 cc/min
• 內(nèi)部安裝有一混氣罐
• 有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側面上，可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力

閥門

四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側面上，用于控制氣體的流量

外形尺寸

爐子: 1100 X 450 x 670mm

底部移動架: 600x600x597

凈重

約 90 Kg

運輸重量

245 Lbs

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件

質(zhì)量認證

CE certified