詳細介紹
OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到 10-2 torr。
技術參數(shù)
殼體結構 |
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功率 | 5 KW |
電壓 | AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
工作溫度 | 1200oC |
連續(xù)工作溫度 | 1100oC |
加熱速率 | <= 20 oC /min |
石英管& 密封法蘭 |
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加熱區(qū)長度 |
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溫控系統(tǒng)
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控溫精度 | +/- 1oC |
真空密封系統(tǒng)
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真空泵 |
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數(shù)字式真空顯示計 |
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氣體流量計和壓力表
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閥門 | 四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側面上,用于控制氣體的流量 |
外形尺寸 | 爐子: 1100 X 450 x 670mm 底部移動架: 600x600x597 |
凈重 | 約 90 Kg |
運輸重量 | 245 Lbs |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件 |
質(zhì)量認證 | CE certified |