OTF-1200X-80-I-F3LV 1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

高溫爐殼體

• 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃
• 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

功率

2.5 KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有氧化鋯涂層，使其延長(zhǎng)使用壽命）

工作溫度

1200℃

連續(xù)工作溫度

1100℃

升溫速率

<= 20 ℃

爐管材質(zhì)和尺寸

石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm

加熱區(qū)長(zhǎng)度

400 mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

150 (+/-1 ℃)

控溫系統(tǒng)

PID30段程序化控溫

控溫精度

+/- 1 ℃

真空密封系統(tǒng)

兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥），漏氣率6 mtorr/min

真空泵

采用雙旋機(jī)械泵，機(jī)械泵上安裝有油污過(guò)濾器，可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過(guò)濾的最小微粒直徑為0.3微米。

數(shù)字式真空顯示計(jì)

• 美國(guó)進(jìn)口CVM-211數(shù)顯真空計(jì),已安裝在不銹鋼法蘭上，測(cè)量范圍為10-4Torr~1000Torr
• 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

混氣系統(tǒng)

• 三個(gè)浮子流量計(jì)(準(zhǔn)確率4%FS)
• 三路浮子量程分別為
• 10-100 cc/min.
• 16-160 cc/min.
• 25-250 cc/min
• 內(nèi)部安裝有一混氣罐

尺寸

• 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm
• 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm

凈重

約60kg

運(yùn)輸重量

200

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期（不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件）

CE Certificate