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三路質(zhì)量流量計(jì) 氣體流量計(jì)

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  • 型號(hào) CY-3Z
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  • 廠商性質(zhì) 其他
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更新時(shí)間：2024-04-24 09:40:08瀏覽次數(shù)：556

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)單介紹： 產(chǎn)品特點(diǎn)：1.選擇多種氣體方式；2.304不銹鋼管芯，耐腐蝕；3.不銹鋼雙卡快速接頭，連接方便，無(wú)泄漏。

詳細(xì)介紹

詳情介紹：


○ 適用范圍
1.半導(dǎo)體制造業(yè)
2.真空鍍膜設(shè)備
3.特殊材料表面處理
4.燃?xì)饪刂?/span>
5.泄漏檢測(cè)系統(tǒng)
6.環(huán)境檢測(cè)分析設(shè)備
7.化學(xué)，石化，冶金，光纖等


○ 產(chǎn)品特點(diǎn)
1.選擇多種氣體方式
2.304不銹鋼管芯，耐腐蝕
3.不銹鋼雙卡快速接頭，連接方便，無(wú)泄漏

○ 技術(shù)參數(shù)

功能

三路質(zhì)量流量計(jì)

質(zhì)子流量控制器

工作溫度：5~45 oC
*大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

功率

150W

機(jī)械壓力表

有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

316 不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4"不銹鋼管 

外部通氣管道為1/4"聚四氟管 

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不銹鋼針閥 

Φ1/4" 不銹鋼管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)

或

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