1200℃三通道CVD系統(tǒng)

一體式CVD系統(tǒng)設(shè)計緊湊，使用方便。特別是豐富的圖文界面，即使您是**操作，該系統(tǒng)也能順利引導(dǎo)您很快掌握該CVD系統(tǒng)的使用和操作，您根本無需專業(yè)學(xué)習(xí)，為您節(jié)省大量的科研時間，真正做到事倍功半！

產(chǎn)品特點：

1、豐富的圖文信息：全尺寸液晶圖文界面

2、系統(tǒng)高度集成：各個部分均由軟件協(xié)同進行數(shù)據(jù)采集、交換、處理、輸出

3、可使實驗步驟程序化、自動化

主要技術(shù)參數(shù)：

工作電壓：AC220/AC110V   

工作頻率：50Hz/60hz

工作溫度：25℃～1100℃

測量精度：0.1℃

控溫精度：±1℃

加熱區(qū)長：400mm

恒溫區(qū)長：200mm

射頻頻率：13.56MHz

射頻功率：0～500W（可調(diào)節(jié)）

匹配模式：自動匹配

氣體通道：3通道

氣體測量：質(zhì)量流量計

量程范圍：0～500SCCM

真空設(shè)備：分子泵組

真空測量：復(fù)合真空計