詳細(xì)介紹
自動(dòng)補(bǔ)液攪拌罐是一種流型精密自動(dòng)補(bǔ)液裝置,它包括儲(chǔ)罐、機(jī)械補(bǔ)液泵、恒壓罐,報(bào)警傳感器、液位傳感器、液位傳感器、報(bào)警傳感器、電磁換向閥、閥、手動(dòng)補(bǔ)貨閥,手動(dòng)校準(zhǔn)量杯,清洗槽和控制系統(tǒng),機(jī)械補(bǔ)液泵恒壓罐和儲(chǔ)罐,報(bào)警傳感器、液位傳感器、液位傳感器和報(bào)警傳感器組依次從上到下恒壓槽的側(cè)壁上,并連接到電氣控制系統(tǒng),由電磁換向閥補(bǔ)液管分離兩個(gè)分支,一個(gè)路徑手動(dòng)補(bǔ)液閥到清洗槽,測(cè)量杯的另一種方法是通過手動(dòng)校準(zhǔn)閥。它可以測(cè)量灌裝流量,然后根據(jù)工藝要求確定灌裝時(shí)間,及時(shí)準(zhǔn)確地灌裝清洗槽,使清洗槽內(nèi)溶液濃度保持穩(wěn)定,從根本上保證了硅片的清洗質(zhì)量。