TURBOVAC MAG 磁懸浮分子泵
TURBOVAC MAG系列
TURBOVAC MAG系列耐腐蝕磁懸浮分子泵，適用于從10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓強(qiáng)范圍。對空氣的抽速從300 l x s-1(進(jìn)氣口法蘭直徑 = 100mm(3.94in.))至3200 l x s-1(進(jìn)氣口法蘭直徑 = 320mm(12.6in.))不等。
TURBOVAC MAG泵較常用于半導(dǎo)體工業(yè)，例如蝕刻、CVD、PVD和離子注入，也就是需要抽除腐蝕性氣體的應(yīng)用條件。
TURBOVAC MAGiNTEGRA系列
TURBOVAC MAGiNTEGRA系列磁懸浮分子泵是集現(xiàn)代真空科技之大成的新產(chǎn)品！
它設(shè)計(jì)精良，性能優(yōu)異，可靠耐用是高真空應(yīng)用的睿智選擇。新的主動(dòng)定位五軸磁懸浮技術(shù)與萊寶真空專有抗沖擊設(shè)計(jì)相結(jié)合， 保證了TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁懸浮分子泵無磨損的優(yōu)勢又延續(xù)了萊寶分子泵耐沖擊的一貫特性。
TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵適合短節(jié)拍大氣載的應(yīng)用，可幫助客戶縮短工藝節(jié)拍，提高工作效率。非常適合電子顯微鏡，玻璃鍍膜、工業(yè)和科研等應(yīng)用。
TURBOVAC MAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：
- 無碳?xì)浠衔?，可以?shí)現(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件；
- 任何安裝方向都具有高性能
- 運(yùn)行高度可靠
- 振動(dòng)極低
- 防腐蝕版可以抽除腐蝕性氣體
- 免維護(hù)
典型應(yīng)用
- 氣體分析系統(tǒng)
- 粒子加速器
- 電子顯微鏡
- 科研
- 鍍膜設(shè)備
技術(shù)特點(diǎn)
- 任意方向安裝
- ISO-K或CF高真空接口
- DN 16 ISO-KF，帶卡簧式前級(jí)真空接口
- 保護(hù)氣/破空接口DN 16 ISO-KF（卡簧式接口）
- 可選擇水冷或風(fēng)冷
- CE和RoHS認(rèn)證：滿足UL要求
- 標(biāo)準(zhǔn)9針24 V SPS，PLC接口
- RS 232 C，維護(hù)接口
- 可以安裝其它接口:Profibus, RS 485 C
客戶得益
- 尺寸可能較小，抽速較高
- 免維護(hù)
- 適合用于分析儀器、薄膜技術(shù)、電子顯微鏡、科研領(lǐng)域?qū)φ駝?dòng)敏感的應(yīng)用場合
- 由于采用模塊化設(shè)計(jì)具有靈活性；也可以提供臺(tái)式變頻器
- 兩個(gè)工業(yè)通信模塊卡接口
更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info
TURBOVAC MAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：
- 無碳?xì)浠衔?，可以?shí)現(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件；
- 任何安裝方向都具有高性能
- 運(yùn)行高度可靠
- 振動(dòng)極低
- 防腐蝕版可以抽除腐蝕性氣體
- 免維護(hù)
技術(shù)特點(diǎn)
- 任意方向安裝
- ISO-K或CF高真空接口
- DN 16 ISO-KF，帶卡簧式前級(jí)真空接口
- 保護(hù)氣/破空接口DN 16 ISO-KF（卡簧式接口）
- 可選擇水冷或風(fēng)冷
- CE和RoHS認(rèn)證：滿足UL要求
- 標(biāo)準(zhǔn)9針24 V SPS，PLC接口
- RS 232 C，維護(hù)接口
- 可以安裝其它接口:Profibus, RS 485 C
客戶得益
- 尺寸可能較小，抽速較高
- 免維護(hù)
- 適合用于分析儀器、薄膜技術(shù)、電子顯微鏡、科研領(lǐng)域?qū)φ駝?dòng)敏感的應(yīng)用場合
- 由于采用模塊化設(shè)計(jì)具有靈活性；也可以提供臺(tái)式變頻器
- 兩個(gè)工業(yè)通信模塊卡接口
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