精密溫控型多功能LIV光譜功率積分測(cè)試系統(tǒng)

VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，垂直共振腔表面放射激光）技術(shù)目前在在人臉識(shí)別、3D感測(cè)、汽車(chē)自動(dòng)駕駛、手勢(shì)偵測(cè)和VR（虛擬現(xiàn)實(shí)）/AR（增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)）/MR（混合現(xiàn)實(shí)等應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越受到關(guān)注。

 VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，垂直共振腔表面放射激光）技術(shù)目前在在人臉識(shí)別、3D感測(cè)、汽車(chē)自動(dòng)駕駛、手勢(shì)偵測(cè)和VR(虛擬現(xiàn)實(shí))/AR(增強(qiáng)現(xiàn)實(shí))/MR(混合現(xiàn)實(shí)等應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越受到關(guān)注，萊森光學(xué)®可以為客戶(hù)提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF檢測(cè)解決方案：LIV光譜/功率積分測(cè)試、NF近場(chǎng)特性測(cè)試、FF遠(yuǎn)場(chǎng)特性測(cè)試、BRDF/BTDF光學(xué)材料AR/VR特性測(cè)試、VCSEL積分球,實(shí)現(xiàn)對(duì)VCSEL單體、模組、及晶圓芯片的能量分布和均勻性測(cè)量、光譜波長(zhǎng)及功率測(cè)量、近場(chǎng)遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量等各種定制化應(yīng)用需求。

 

 

 

 

       LS-VCS-SCI-LIV精密溫控型LIV光譜功率積分測(cè)試系統(tǒng)由萊森光學(xué)專(zhuān)門(mén)針對(duì)基于3D-SENSING 脈沖激光LIV光譜測(cè)試研發(fā)而成，特別適合晶圓和模組封裝用戶(hù)在實(shí)驗(yàn)室對(duì)VCSEL/LD的研發(fā)使用，用于驗(yàn)證VCSEL/LD各個(gè)工藝過(guò)程中的光電特性。實(shí)現(xiàn)對(duì)VCSEL/LD單體、模組、及芯片的LIV、EIV、TIE、PCE、光譜波長(zhǎng)及功率測(cè)量等。
       LS-VCS-SCI-LIV精密溫控型多功能光譜功率積分測(cè)試系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)針對(duì)基于3D-SENSING 脈沖激光、脈沖LD/LED測(cè)試研發(fā)而成，該系統(tǒng)可用于對(duì)VCSEL、LD/LED光電特性檢測(cè)，以保證VCSEL、LD/LED脈沖激光輻射光譜滿(mǎn)足器件光學(xué)功能和IEC-60825-2激光安全-人眼安全應(yīng)用需求。

 

 

主要功能特點(diǎn)

● 強(qiáng)大的軟件分析功能，可以?huà)呙铚y(cè)量LIV曲線，PCE曲線，溫度-峰值波長(zhǎng)-光功率曲線，可設(shè)置掃描精度和速度，可測(cè)量光電轉(zhuǎn)換效率，自動(dòng)保存測(cè)試數(shù)據(jù)

● 高精度光學(xué)分辨率光譜儀光譜范圍400-1100nm可選，光譜分辨率0.1nm，實(shí)現(xiàn)光譜峰值波長(zhǎng)和半高全寬（FWHM）測(cè)量，快可實(shí)現(xiàn)2kHz采樣速率，可掃描測(cè)量溫度-峰值波長(zhǎng)-功率曲線等

● 手動(dòng)或全自動(dòng)探針平臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓或模組的自動(dòng)化LIV光譜功率測(cè)試

● 可對(duì)樣品精確控溫，可設(shè)置掃描步長(zhǎng)，可實(shí)現(xiàn)高速同步觸發(fā)，可預(yù)設(shè)/自定義測(cè)量

● 多線程聯(lián)用（大功率高精度電流源、高精度高速數(shù)字萬(wàn)用表、多通道同步數(shù)字萬(wàn)用表、功率探頭、光譜儀、溫度控制器等），可以實(shí)現(xiàn)光譜、功率、電流、溫度等參數(shù)的程序化、自動(dòng)化掃描測(cè)量

● 一體化工控機(jī)箱，高分辨液晶顯示，自動(dòng)化集成化操作軟件

● 采用四線測(cè)量方法，實(shí)時(shí)記錄實(shí)測(cè)電流、電壓值，功率值，測(cè)試更準(zhǔn)確

● 程序可設(shè)置連續(xù)及脈沖掃描兩種模式

● 壽命老化檢測(cè)功能：在恒定或脈沖條件下（電流、溫度），每隔時(shí)間間隔測(cè)試記錄一次光譜和功率數(shù)據(jù)

 

 

LIV測(cè)試軟件界面

 

 

 

VCSEL光譜隨電流的變化

 

 

LIV、I-V、I-L 掃描曲線

 

 

 

 

 

溫度、峰值波長(zhǎng)、光功率掃描曲線

 

主要技術(shù)指標(biāo)

 

型號(hào)	LS-VCS-SCI-LIV光譜功率積分測(cè)試系統(tǒng)
功率測(cè)量范圍	≤50W（更大功率可定制）
光譜范圍	400-1100nm
光譜分辨率	0.1nm（823-998nm）
積分球	2吋/4吋/6吋
溫度范圍	5℃-85℃
控溫精度	±1℃
電流源輸出范圍（脈沖電流）	0-10A（更大范圍可選：0-50A）
電流源精度	0.05%
電流可編程脈寬	100μs
電流精度	±0.07%+0.2nA
電流分辨率	10pA
三維位移臺(tái)	X、Y、Z可調(diào)
探針臺(tái)	選配
斜率（W/A）	Yes
閾值電流（mA）	Yes
內(nèi)阻（Ω）	Yes
尺寸/重量	37×52×41cm，25kg