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詳細(xì)介紹
實(shí)驗(yàn)室氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品特點(diǎn):
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設(shè)計(jì)
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
實(shí)驗(yàn)室氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)參數(shù)
性能參數(shù) | FS4003 | FS4008 | 單位 |
通徑 | 3 | 8 | mm |
大流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
量程比 | 100:1 |
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精度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復(fù)性 | 0.75 | % | |
零點(diǎn)輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | 0.12 | %/oC | |
響應(yīng)時(shí)間 | 100 | ms | |
工作電源 | 8~18Vdc,100mA |
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輸出方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 | 100 | 600 | pa |
大工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作濕度 | <95%RH（無結(jié)冰、無凝露） |
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機(jī)械接口 | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 |
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校準(zhǔn)方式 | 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 | 57（帶R1/4,BSPT1/4接口） | g | |
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