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尼康NIKON高精度影像測量儀VMR-H3030

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  • 型號 VMR-H3030
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 0
  • 所在地 常州市

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更新時間:2019-12-05 10:00:17瀏覽次數(shù):912

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產(chǎn)品簡介

尼康NIKON高精度影像測量儀VMR-H3030
NEXIV VMR-H3030系列 該設(shè)備具有高精度以及多種功能,XYZ行程為300×300×150毫米,不僅可以用于各種精密模具、精密零件的測量,還可以作為精密檢測室的主檢測設(shè)備使用。 8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置

詳細介紹

尼康NIKON高精度影像測量儀VMR-H3030
 

 

NIKON VMR-H3030高精度影像測量儀,精密機型,實現(xiàn)亞微米級水平的不確定性(300 x300x150mm載物臺)。 NEXIV VMR-H3030系列 該設(shè)備具有高精度以及多種功能,XYZ行程為300×300×150毫米,不僅可以用于各種精密模具、精密零件的測量,還可以作為精密檢測室的主檢測設(shè)備使用。 8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組,可以在各段(倍率)間進行自由切換,以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。以低熱膨脹材料制做的光柵本身就具有較高精度,加上其合理的布局以及堅固耐用的硬件設(shè)計,使 NEXIV VMR-H3030 的測量不確定度達到了亞微米級,可以滿足精密模具的檢測需求。
NIKON VMR-H3030高精度影像測量儀,適于用作精密檢測室的主檢測設(shè)備;
3個型號(1、2、3 型)各自有 5 級放大倍率,可滿足不同視場及倍率要求;
有多種多樣的照明方式可供選擇,以確保模具邊界準確探測的需求;
較長的工作距離(50毫米),可滿足測量對工件高度方向的空間需求;
高達15倍的變焦比,可以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。與無級變焦機構(gòu)相比,采用5段、定倍自動變焦機構(gòu)可以使測量更加快速、準確。
應(yīng)用領(lǐng)域:精密檢測室的主檢測設(shè)備,模具及精密機械零件測量。精密掩模板

精密機械零件

 

 

尼康NIKON高精度影像測量儀VMR-H3030

Z120X 型(帶高倍頭)
具有高精度的載物臺,與高倍頭配合使用,能夠準確測量工件的細微部位(如精密掩膜及芯片凸點高度等關(guān)鍵尺寸)光學(xué)放大倍數(shù)zui高可達120X,能夠測量微距線寬;
高速、高精度的載物臺有助于對較大的物體尺寸,進行快速、準確地測量;
可以分別測量刻線的上下寬度;
激光自動掃描功能,可以用來測量芯片上的微小凸點高度以及錫球截面形狀等;
可以對激光掃描所得的截面輪廓形狀進行評估。
應(yīng)用領(lǐng)域:各種芯片級封裝、芯片上的凸點高度、各種精密掩膜板等。精密掩模板,倒裝芯片上的凸點,芯片凸點形貌色標顯示

 

適用產(chǎn)業(yè):研究實驗室、高精度模具、光罩微機電系統(tǒng)、晶圓凸點 … 等。

 

隨著科技的日新月異,產(chǎn)品的規(guī)格要求越來越精細,使得量測工具必須能配合產(chǎn)品跟著提高精度,一般的量測儀器已無法滿足工業(yè)界量測上的需求。 VMR-H3030 以高精密度和多樣性功能提供給您量測質(zhì)量。

 NIKON 采用雙 Y 軸光學(xué)尺,可校正載物臺移動時可能會 造成的扭力變形,并改良光學(xué)尺的刻度。

 為了避免震動影響到量測結(jié)果的正確性, VMR-H3030 改良了機體的結(jié)構(gòu),增加了抗動性以減低震 動對量測所造成的影響。

高精度載物臺的設(shè)計,對于 XY 方向移動所可能產(chǎn)生的額外應(yīng)力,因而導(dǎo)致載物臺不在原定光學(xué)尺 的軌道上滑動,使得量測數(shù)據(jù)產(chǎn)生誤差的六大因素,進行矯正預(yù)防措施。

 技術(shù)參數(shù):

機型

VMR H3030

VMR H3030-Z120X

行程 (XxYxZ) mm

300 x 300 x 150

讀值

0.01 μm

承重

30kg

量測精度

U 1X U 1Y

0.6+ 2L /1000μm

U 2XY

0.9+ 3L /1000μm

Z Axis

0.9+ L/150μm

攝影機

B & W CCD (progressive) ; Color CCD

工作距離

50 mm

高倍

9.8 mm

低倍

32 mm

倍率 ─ 視野

Type 1

0.5X -- 9.33 x 7 mm 7.5X -- 0.622 x 0.467 mm

1X -- 4.67 x 3.5 mm

120X -- 0.039 x 0.029 mm

Type 2

1X -- 4.67 x 3.5 mm 15X -- 0.311 x 0.233 mm

Type 3

2X -- 2.33 x 1.75 mm 30X -- 0.155 x 0.177 mm

自動對焦方式

TTL 雷射對焦和影像對焦

光源種類

底部光、表面光 LED 環(huán)形光
( 內(nèi)環(huán) / 外環(huán) )

底部光 ( 高倍光學(xué)頭 )
表面光、暗視野

電源

AC100 ~ 240V±10%, 50/60Hz

電力消耗

Max. 7A

外觀尺寸與重量(W x D x H) mm

僅主體

915 x 1060 x 1300 約 450kg

主體與防震桌

1000 x 1100 x 1900 約 570kg

控制箱

250 x 550 x 500 約 31kg

接地尺寸 (W x D) mm

2400 x 1400

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