尼康NIKON高精度影像測量儀VMR-H3030

尼康NIKON高精度影像測量儀VMR-H3030
 

NIKON VMR-H3030高精度影像測量儀，精密機型，實現(xiàn)亞微米級水平的不確定性(300 x300x150mm載物臺)。 NEXIV VMR-H3030系列 該設(shè)備具有高精度以及多種功能，XYZ行程為300×300×150毫米，不僅可以用于各種精密模具、精密零件的測量，還可以作為精密檢測室的主檢測設(shè)備使用。 8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組，可以在各段（倍率）間進行自由切換，以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。以低熱膨脹材料制做的光柵本身就具有較高精度，加上其合理的布局以及堅固耐用的硬件設(shè)計，使 NEXIV VMR-H3030 的測量不確定度達到了亞微米級，可以滿足精密模具的檢測需求。
NIKON VMR-H3030高精度影像測量儀，適于用作精密檢測室的主檢測設(shè)備；
3個型號（1、2、3 型）各自有 5 級放大倍率，可滿足不同視場及倍率要求；
有多種多樣的照明方式可供選擇，以確保模具邊界準確探測的需求；
較長的工作距離（50毫米），可滿足測量對工件高度方向的空間需求；
高達15倍的變焦比，可以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。與無級變焦機構(gòu)相比，采用5段、定倍自動變焦機構(gòu)可以使測量更加快速、準確。
應(yīng)用領(lǐng)域：精密檢測室的主檢測設(shè)備，模具及精密機械零件測量。精密掩模板

精密機械零件

尼康NIKON高精度影像測量儀VMR-H3030

Z120X 型（帶高倍頭）
具有高精度的載物臺，與高倍頭配合使用，能夠準確測量工件的細微部位（如精密掩膜及芯片凸點高度等關(guān)鍵尺寸）光學(xué)放大倍數(shù)zui高可達120X，能夠測量微距線寬；
高速、高精度的載物臺有助于對較大的物體尺寸，進行快速、準確地測量；
可以分別測量刻線的上下寬度；
激光自動掃描功能，可以用來測量芯片上的微小凸點高度以及錫球截面形狀等；
可以對激光掃描所得的截面輪廓形狀進行評估。
應(yīng)用領(lǐng)域：各種芯片級封裝、芯片上的凸點高度、各種精密掩膜板等。精密掩模板,倒裝芯片上的凸點,芯片凸點形貌色標顯示

適用產(chǎn)業(yè)：研究實驗室、高精度模具、光罩微機電系統(tǒng)、晶圓凸點 … 等。

隨著科技的日新月異，產(chǎn)品的規(guī)格要求越來越精細，使得量測工具必須能配合產(chǎn)品跟著提高精度，一般的量測儀器已無法滿足工業(yè)界量測上的需求。 VMR-H3030 以高精密度和多樣性功能提供給您量測質(zhì)量。

 NIKON 采用雙 Y 軸光學(xué)尺，可校正載物臺移動時可能會 造成的扭力變形，并改良光學(xué)尺的刻度。

 為了避免震動影響到量測結(jié)果的正確性， VMR-H3030 改良了機體的結(jié)構(gòu)，增加了抗動性以減低震 動對量測所造成的影響。

高精度載物臺的設(shè)計，對于 XY 方向移動所可能產(chǎn)生的額外應(yīng)力，因而導(dǎo)致載物臺不在原定光學(xué)尺 的軌道上滑動，使得量測數(shù)據(jù)產(chǎn)生誤差的六大因素，進行矯正預(yù)防措施。

 技術(shù)參數(shù)：