納米壓印機(jī)

NIL Technology 公司簡稱NILT，位于北歐小國丹麥，NIL Technology 是一家專門從事生產(chǎn)納米壓印機(jī)、納米結(jié)構(gòu)微加工掩膜和各類標(biāo)準(zhǔn)納米壓印模板的高科技公司。其納米壓印設(shè)備（Nanoimprint lithography Tools）產(chǎn)品主要有CNI系列紫外/熱壓壓印機(jī)，以及EZI-UV NIL納米壓印儀器。

丹麥NILT的壓印機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)納米壓印、熱模壓、滾印、注射模塑和紫外壓印等多種功能，適用于多種應(yīng)用。

NILT 納米壓印機(jī) 主要應(yīng)用：

壓印易碎的材料、在硅片上制作納米級(jí)光柵

制作壓印模板、掩膜

熱壓高深寬比結(jié)構(gòu)圖形

微結(jié)構(gòu)加工

CNI系列壓印機(jī)（UV & 熱壓）， 纖細(xì)輕巧

CNI V2.1 是一款專為實(shí)驗(yàn)室開發(fā)的即插即用，纖細(xì)輕巧的納米壓印工具，其能低成本且高效地實(shí)現(xiàn)高精度的納米熱壓工藝。它兼具熱壓印和紫外壓印兩種功能，而且可以快速的實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境下的壓印。這個(gè)系統(tǒng)可以方便的根據(jù)不同需要進(jìn)行配置，閑置時(shí)也易于收藏。

它可以處理各種不同形狀、格式以及直達(dá)100mm（4英寸）的模板和基片。該系統(tǒng)只需要手動(dòng)裝入和取出模板和基片，其余的操作都是自動(dòng)化進(jìn)行，同時(shí)附帶軟件還提供了詳細(xì)的參數(shù)設(shè)置，讓客戶對(duì)壓印過程實(shí)行全名的操控。

特點(diǎn)：

熱壓?。囟冗_(dá)240℃）和 紫外壓?。?65nm）兩種功能

真空壓印（1mbar）

即插即用，纖細(xì)輕巧，實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)、記錄、分析的好幫手

EZI-UV NIL微加工壓印機(jī)

EZI UV Nanoimprint System PL400 / 600

EZImprinting是一款具有超高良品產(chǎn)率（> 99％），帶有一步自動(dòng)脫模制式（ONE-STEP AUTO RELEASE）特色的納米壓印光刻平臺(tái)，可精確運(yùn)作和處理的10納米以內(nèi)的圖形。

特點(diǎn)：

可處理10nm尺寸內(nèi)的圖形，99%的良品率

全晶圓壓印，6英寸(NTP-600) ，4英寸（NTP-400），

一步自動(dòng)脫模（ONE STEP AUTO-RELEASE）技術(shù)，避免基板和模板損傷

PLC可編程式軟件和觸控界面

可配合軟硬模板 ，適合不同大小基板和模板

NILT CT100 - 脫模處理設(shè)備（Release Agent Treatment Tool）

為了達(dá)到高質(zhì)量的壓印效果，必須保證模具表面的低能量，以確保模具容易從壓印抗蝕劑中脫離。 CT100脫模處理設(shè)備是一種易于使用的全自動(dòng)工具，可在15分鐘內(nèi)對(duì)模具進(jìn)行防粘涂層。

NILT PC100 - 等離子清潔設(shè)備（Plasma cleaning tool）

PC100等離子清潔設(shè)備是一款具有下游等離子體的批量清潔工具（晶片垂直放置在腔室內(nèi)）。 下游等離子體不會(huì)攻擊任何有機(jī)材料，包括晶片表面上的金屬。 該工具可配備3 nm濾光片，以確保清潔后晶圓上的顆粒污染極低。

NIL仿真軟件

NIL Technology提供Simprint仿真軟件，節(jié)省寶貴的時(shí)間來優(yōu)化壓印參數(shù)，