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詳細介紹
北京漢達森德國原廠直供德國PhysikInstrumenteA-110帶空氣軸承線性平臺、PhysikInstrumenteA-110帶空氣軸承線性平臺
Physik Instrumente公司簡介：
Physik Instrumente（PI）GmbH & Co.KG 多年來，PI的產品一直以高品質和創(chuàng)新技術而著稱。在提供產品質量的同時，PI更為用戶提供創(chuàng)新的技術服務和完整的解決方案。從精密加工到數(shù)字與模擬控制電路，從亞納米級的電容位置傳感器到*的PICMA 壓電陶瓷促動器，PI已掌握全套關鍵技術，強大的技術實力推動著微米納米定位技術不斷地向前沿發(fā)展，也使得PI成為眾多高科技企業(yè)、*實驗室的合作伙伴。
產品簡介：
產品概述
PIglide定位系統(tǒng)具有一個磁性線性電機、磁性預載空氣軸承和一個光學線性編碼器：非接觸式無摩擦運動實現(xiàn)*精度和可靠性
產品特點：
- 掃描應用的*選擇或精密定位
- 無塵室兼容
- 運動平臺的尺寸160毫米×200 毫米
- 行程達400 毫米
- 負載容量達100 牛
附件和可選配件
- 編碼器
- PIglide Filter und Druckregler
- 單軸和多軸運動控制器
- XY裝置和個性化配置
- 花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)
應用領域
PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應用，諸如半導體或平板顯示器制造中的計量、光子學和精密掃描。
由于運動無摩擦，不會形成顆粒，PIglide平臺非常適用于無塵室應用。
規(guī)格
運動 | A-110.050xx | A-110.100xx | A-110.200xx | A-110.300xx | A-110.400xx | 單位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
主動軸 | X | X | X | X | X |
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行程 | 50 | 100 | 200 | 300 | 400 | 毫米 |
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螺距/偏轉角(1) | 15 | 15 | 20 | 30 | 40 | 微弧度 | 大 |
直線度/ | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1.5 | 微米 | 大 |
| ±10 | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 | 納米 | 大 |
速度，空載(2) | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1 | 米/秒 | 大 |
加速度，空載(2) | 10 | 10 | 30 | 30 | 30 | 米/平方秒 | 大 |
機械特性 | A-110.050xx | A-110.100xx | A-110.200xx | A-110.300xx | A-110.400xx | 單位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
Z向負載能力(3) | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 牛 | 大 |
移動質量 | 2.5 | 2.5 | 2.6 | 2.6 | 2.6 | 千克 |
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總質量 | 6.3 | 7.5 | 11 | 12 | 14 | 千克 |
|
導向類型 | 空氣軸承 | 空氣軸承 | 空氣軸承 | 空氣軸承 | 空氣軸承 |
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驅動特性 | A-110.050xx A-110.100xx | A-110.200xx A-110.300xx A-110.400xx | 單位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|
驅動類型 | 無鐵芯三相線性電機 | 無鐵芯三相線性電機 |
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中間電路電壓，均方根 | 48，標稱值 60，大值 | 48，標稱值 60，大值 | 伏直流 |
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峰值力 | 25 | 85 | 牛 | 典型值 |
標稱力 | 9.2 | 39 | 牛 | 典型值 |
力常數(shù)，均方根 | 4.2 | 12.3 | 牛/安 | 典型值 |
相間電阻 | 8.2 | 3.6 | 歐姆 | 典型值 |
相間電感 | 2.7 | 1.24 | 毫亨 | 典型值 |
相間反電動勢 | 4.2 | 10.1 | 伏·秒/米 | 大 |
布線 | 內部，無移動電纜 | 外部，移動電纜 |
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定位 | A-110.xxxA | A-110.xxxB |
|---|---|---|
集成傳感器 | 增量線性編碼器 | 編碼器 |
傳感器信號 | 正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信號周期 | BiSS-C |
傳感器分辨率 | 1.2納米(4) | 1納米 |
雙向重復性 | ±0.1微米(4) | ±0.1微米 |
定位精度，未校準(5) | A-110.050：± 1.5微米 A-110.100：± 1.5微米 A-110.200：± 2微米 A-110.300：± 3微米 A-110.400：± 4微米 | A-110.050：± 1.5微米 A-110.100：± 1.5微米 A-110.200：± 1.5微米 A-110.300：± 1.5微米 A-110.400：± 1.5微米 |
定位精度，已校準(5) | A-110.050：± 0.5微米 A-110.100：± 0.5微米 A-110.200：± 0.5微米 A-110.300：± 0.5微米 A-110.400：± 0.5微米 | A-110.050：± 0.5微米 A-110.100：± 0.5微米 A-110.200：± 0.5微米 A-110.300：± 0.5微米 A-110.400：± 0.5微米 |
其他 | A-110 |
|---|---|
工作壓力(6) | 60至70磅 /平方英寸（415至485千帕） |
耗氣量 | < 1.0 SCFM (28 SLPM) |
空氣質量 | 清潔（過濾達1.0微米或更佳）ISO 8573–1 級別1 無油 - ISO 8573–1 級別1 干燥（-15°C露點） - ISO 8573–1 級別3 |
材料 | 硬膜鋁，不銹鋼固定硬件 |
(1)取決于平臺安裝表面的平面度。
(2)可能受有效載荷、控制器或驅動器的限制。
(3)假定有效載荷重心位于運動平臺上方50毫米范圍以內的*。平臺僅設計用于水平操作。
(4)假定16384x插值。有關其他因子的使用
(5)通過基于控制器的誤差補償，可獲得改善的精度。為實現(xiàn)這些數(shù)值，平臺必須與PI控制器一同訂購。精度值取短時間段，不考慮平臺上熱漂移的*影響。
(6)為防止平臺損壞，建議將空氣壓力傳感器連接到控制器運動停止輸入端。
訂購信息
A-110.050A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，50毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏
A-110.050B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，50毫米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)木€性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏
A-110.100A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，100毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏
A-110.100B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，100毫米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)木€性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏
A-110.200A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，200毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏
A-110.200B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，200毫米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)木€性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏
A-110.300A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，300毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏
A-110.300B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，300毫米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)木€性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏
A-110.400A1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，400毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏
A-110.400B1 PIglideLC線性平臺，空氣軸承，400毫米行程，帶BiSSC信號傳輸?shù)木€性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏
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