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美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 140

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所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：朱珠 （銷售助理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵網(wǎng)離子源, 離子束可選聚焦, 平行, 散射.離子束流: 600 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng), 更適合時(shí)間長(zhǎng)的工藝要求. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求.離子源采用模塊化設(shè)計(jì)......

詳細(xì)介紹

美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 140 技術(shù)參數(shù)：

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 140 技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

RFICP 140

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>600 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

14 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

5-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長(zhǎng)度

24.6 cm

直徑

24.6 cm

中和器

LFN 2000

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