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Hakuto 全自動離子蝕刻機 MEL3100

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更新時間:2021-10-06 18:52:02瀏覽次數(shù):241次

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經(jīng)營模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:137條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:朱珠 (銷售助理)

產(chǎn)品簡介

Hakuto 全自動離子蝕刻機 MEL3100 具有良好的均勻性和高蝕刻率, 刻蝕均勻度: 5%, 硅片 Si 蝕刻速率 10 nm/min, 具有高冷卻效果.所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量.占用空間小, 容易維護和用戶操作友好.

詳細(xì)介紹

Hakuto 全自動離子蝕刻機 MEL3100 產(chǎn)品優(yōu)勢:

1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量

2. 盒式房間采用高效微粒過濾器

3. 采用高質(zhì)量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率

4. 占用空間小

5. 傳輸系統(tǒng)采用了 SCARA 型機器人

6. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上

7. 高冷卻效果

8. 良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性的旋轉(zhuǎn)和傾斜階段具有良好的可重復(fù)性利用脈沖電動機

9. 容易維護這個系統(tǒng)設(shè)計重點是容易維護和用戶友好

10. 關(guān)鍵部件服務(wù)伯東的經(jīng)銷商是系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件渦輪泵系統(tǒng)、離子源提供客戶快速響應(yīng)時間和本地服務(wù)能力,減少停機時間的工具

關(guān)鍵詞:過濾器 機器人
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