復合分子泵廠家

ZYFB-1200復合分子泵廠家
復合分子泵是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵，是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點，擴展了復合分子泵的應用范圍。
復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

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分類

這種泵具體可分為：

1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。

2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合型的分子真空泵。

 

結構特點

復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點于一體。泵在很寬的壓力范圍內 ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜*承和動密封的復合分子泵，可以做到*無油，且不用前級泵直接向大氣中排氣。

 

工作條件

（1）轉子轉速達到20000r/min，故分子泵啟動時間較長。

（2）氣體處于分子流狀態(tài)，故需要配備前級泵，一般使用旋片泵作為前級泵。

 

 

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設計要點

在復合分子泵的設計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關系。由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變，使氣體分子的運動在聯(lián)接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設計時應在渦輪級和牽引級轉換處加上過渡級結構，以提高泵的抽氣性能。

隨著復合分子泵的不斷改進，其應用領域越來越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時間，并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境。