AFC質量流量控制器

AFC質量流量控制器

被測氣體分別流經(jīng)兩個層流區(qū)，一路通過主流量管道，另一路通過毛細測量管。兩個管路的設計保證流體處于層流狀態(tài)，因此兩個管路流量比是恒定的。兩個精密的溫度感應繞組在測量管上被加熱，當有流量產(chǎn)生時，被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應繞組上。產(chǎn)生溫差和感應圈電阻的變化是成比例的。

測量繞組的電阻值與瞬時流量成線性比例關系，采用惠斯頓電橋來檢測測量繞組的電阻變化。根據(jù)被測氣體的質量流量，輸出0…5 V D C或者4…20mA信號。經(jīng)過兩個層流區(qū)的氣體混合后流過具有特定孔徑的電磁比例閥，質量流量測量與電磁比例閥組成閉環(huán)的控制系統(tǒng)，使流量穩(wěn)定在設定的流量值上。在一定范圍內溫度和壓力的變化不會影響流量測量值。

AFC質量流量控制器技術參數(shù)

精確度：(包括線性度)  15℃到25℃和5-60psia±1 %滿量程
                      0℃到50℃和5-150psia ±2 %滿量程
                      特殊溫度和壓力需要特殊校準
重復性：              ±0.15%滿量程
響應時間：            設定點在滿量程的20%-*時，0.6-1.0秒內達到±2 %精度
溫度系數(shù)：            小于0.05%滿量程/℃
壓力系數(shù)：            小于0.01%滿量程/psi（0.07bar）
*氣體壓力：        25 psig（1.73bar）
大氣體壓力：        1000 psig（70bar）
大壓差：            DFC2600和DFC3600 50psi（3.4 bar）DFC4600 40 psi（2.8 bar）
氣體和環(huán)境溫度：      41℉-122℉（5℃-50℃）
通訊接口：            標準RS485， 可選RS232
輸出信號：            線性度0-5VDC,（小負載電阻2000ohms）
                      0-10VDC, （小負載電阻4000ohms）
                      0-10mA 可選（回路電阻0-500 ohms）大噪音干擾±20mV峰值
電源保護：            電路板有內置極性保護電路。保險絲提供電源輸入保護
接液材質：            316不銹鋼、416不銹鋼、銅和Viton ® O型圈 可選氯丁橡膠O型圈。
方位靈敏度：          水平到垂直旋轉低于15度；標準校準是在水平位置
連接：                DFC26：1/4" 卡套螺紋 
                      DFC36：1/4"卡套螺紋
                      DFC4600：標準 3/8 " 卡套螺紋 
                      可選1/8" 或3/8" 卡套螺紋或1/4" VCR ®
電源：                ±15 VDC 450mA大電流
校準選項：            標準10點NIST校準 可選10種氣體標定數(shù)據(jù) （另收費）