JSM-7610FPlus掃描電子顯微鏡

JSM-7610FPlus掃描電子顯微鏡統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號(hào)等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。

半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場(chǎng)，因而可以獲得超高分辨率。

er Optics 是*的電子光學(xué)系統(tǒng)，既實(shí)現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。

浸沒式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍（FEG）的探針電流，光闌角控制鏡（ALC）在探針電流增大時(shí)也能保持小束斑，兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強(qiáng)大的High Power Optics 系統(tǒng)，從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的小物鏡光闌而不需要改換。

JSM-7610FPlus掃描電子顯微鏡浸沒式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍銃   

浸沒式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合，可以有效地收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子。
光闌角控制鏡（ACL）
光闌角控制鏡（ACL）配置在物鏡的上方，在整個(gè)探針電流范圍內(nèi)自動(dòng)優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此，即使照射樣品的探針電流很大，與傳統(tǒng)方式相比，也能獲得很小的電子束斑。

即使探針電流很大，束斑直徑也很小
長時(shí)間分析時(shí)穩(wěn)定度也很高