詳細介紹
簡介
正置顯微鏡用電動XYZ平臺專門設計用于提供高分辨率和高度可重復的控制平臺 X、Y 和 Z 位置。 該平臺適合于任何需要超精確 XYZ 定位的應用。 以型號FTP-2000的正置顯微鏡用電動XYZ平臺為例,所有軸都通過使用采用高分辨率旋轉編碼器進行定位反饋的閉環(huán)直流伺服電機來實現(xiàn)精確控制。 FTP-2000 平臺采用交叉滾柱滑軌、高精度絲杠和零背隙微型齒輪直流伺服電機,可實現(xiàn)平穩(wěn)準確的運動。 微處理器控制的 MS-2000 控制單元提供與主機的 RS-232 和 USB 通信。
特點(型號FTP-2000 )
- X、Y 和 Z 軸的閉環(huán)直流伺服控制,可實現(xiàn)精確定位和高度可重復的聚焦
- XY 操縱桿控制的寬動態(tài)速度范圍
- 采用 LS 系列線性平臺進行 Z 軸控制
- 背光 LCD 顯示屏顯示 X、Y 和 Z 坐標
- “歸零"和“主頁"按鈕用于簡單的單機操作
- 符合人體工程學的緊湊型桌面控制單元
- 帶有 RS-232 串行和 USB 通信的微處理器控制
型號:RM-1250 Gen II (XY 自動平臺)
標準配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 125 mm x 125 mm
- XY 軸分辨率(編碼器步長) 22 nm
- XY 軸 RMS 重復性 < 700 nm
- XY軸速度 7mm/sec
- 推薦負載(*可根據(jù)要求提供更高的負載)5kg
- *為 6.35 mm 螺距絲杠
型號:FTP-2000 (XYZ自動平臺)
標準配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 120 mm x 75 mm
- XY 軸分辨率(編碼器步長) 22 nm
- XY 軸 RMS 重復性 < 700 nm
- XY軸速度 7mm/sec
- Z 軸分辨率(編碼器步長)5.5 nm
- Z 軸重復性 < 700 nm
- Z軸速度1.6毫米/秒
- 推薦負載 (*可根據(jù)要求提供更高的負載) 10kg
- * XY 平臺的質量減少(通常為 5kg)
- *顯示為 6.35 mm 螺距絲杠
型號:MS-2000 (XY自動平臺)
標準配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 100 mm x 100 mm
- XY 軸分辨率(旋轉編碼器步距) 0.022 μm
- XY 軸 RMS 重復性 < 0.7 μm
- XY軸速度 7mm/sec
- *顯示為 6.35 mm 螺距絲杠
型號:OE-1250 GEN II (XY自動平臺)
標準配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 125 mm x 125 mm
- XY 軸分辨率(編碼器步長) 0.022 μm
- XY 軸 RMS 重復性 < 0.7 μm
- XY軸速度 7mm/sec
型號:MS-2000(XY自動平臺)
標準配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 100 mm x 100 mm
- XY 軸分辨率(旋轉編碼器步長) 0.022 μm
- XY 軸 RMS 重復性 < 0.7 μm
- XY軸速度 7mm/sec
- 重量 2.27 kg
- 尺寸 (20.5 x 23 x 6.5 cm)
- *顯示為 6.35 mm 螺距絲杠
型號:MS-4400(XY自動平臺)
標準配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 120 mm x 100 mm(可能受顯微鏡限制)
- XY 軸分辨率(旋轉編碼器步長) 22 nm
- XY 軸 RMS 重復性 < 700 nm
- XY軸速度 7mm/sec
型號:MS-9500(XY自動平臺)
標準配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 225 mm x 125 mm
- XY 軸分辨率 100 nm(典型值)
- XY 軸 RMS 重復性 < 700 nm(典型值)
- XY軸速度 7mm/sec
型號:PZMU-2000 (Z軸壓電平臺)
標準配置規(guī)格
- (XY 軸行程范圍)(標準 OEM 平臺)
- Z 軸行程范圍 (± 5%) 150 μm、300 μm、500 μm(100 μm 和 200 μm 版本可選)
- Z 軸分辨率 1.5 nm
- Z 軸速度,穩(wěn)定時間為 5 mm/s(每次移動約 10 ms)
- Z軸共振頻率(空載)> 1 KHz
- Z軸頂板承重500g
- Z 軸頂板剛度 (± 20%) 3 N/μm
- Z 軸頂板面內傾斜(典型)10 μrad
- 尺寸(長 x 寬 x 高)242 x 176 x 19 mm
型號:PZU-2000 (XYZ 自動平臺,帶壓電 Z 軸平臺)
標準配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 120 mm x 110 mm
- XY 軸分辨率(編碼器步長) 0.088 μm
- XY 軸絲杠精度 0.25 μ/mm
- XY 軸 RMS 重復性 < 0.7 μm
- XY 軸速度 7 mm/sec
- Z 軸行程范圍 100 μm(175 μm 版本可選)
- Z 軸分辨率 1.5 nm
- Z 軸速度,穩(wěn)定時間為 5 mm/s(每次移動約 10 ms)
- Z軸共振頻率(空載)> 1 KHz
- Z軸頂板承重500 g
- Z 軸頂板剛度 (± 20%) 3 N/μm
- Z 軸頂板面內傾斜(典型)10 μrad