Regulus8100超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

Regulus8100超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

 "Regulus系列"是日立*的FE-SEM的全新品牌，包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個機型，均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化。

       掃描電子顯微鏡（SEM）被廣泛應用于納米技術(shù)，半導體?電子行業(yè)，生命科學，材料科學等領域的材料結(jié)構(gòu)觀察。近年來，新一代的電子器件應用中受到廣泛期待的新型碳材料，高分子材料，復合材料等的研究作為*科學技術(shù)的中堅技術(shù)，在*范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察?評價，但僅僅具有超高分辨率還遠遠不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外，在*的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。

       本次發(fā)布的新品牌 "Regulus系列" 電子光學系統(tǒng)進行了優(yōu)化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20％。"Regulus8220/8230/8240"達到0.9nm，"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外，適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大，并獲得高質(zhì)量的圖片。大放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。

除此之外，為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化，如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能，維護輔助功能等。

Regulus8100超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡主要特點

搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍

跟前代機型相比分辨率大約提高了20%

（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）

倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*1

用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能*發(fā)揮出來

主要參數(shù)

名稱 Regulus8100 Regulus8240/8230/8220

二次電子分辨率 0.8 nm（加速電壓 15 kV）

1.1 nm（著陸電壓 1 kV）*2 0.7 nm（加速電壓 15 kV）

0.9 nm（著陸電壓 1 kV）*2

加速電壓 0.5~30 kV 0.5~30 kV

著陸電壓*2 0.1~2 kV 0.01~20 kV

倍率 20~1,000,000倍*3 20~2,000,000倍*3

馬達臺控制 3軸自動*4 5軸自動

*1       * Regulus8240/8230/8220

*2       減速模式觀察

*3       127 mm × 95 mm 視野的畫面倍率

*4       5軸馬達臺為選配項