詳細(xì)介紹
6105系列粒子計(jì)數(shù)器
利用光散射原理測(cè)量粒子是一門科學(xué),也是一門藝術(shù)。Met One 6000系列以其高靈敏度0.2μm通道完善了測(cè)量粒子的技術(shù)。0.2μm傳感器的研制為其工作范圍提供了可靠的性能。
MET ONE 6000系列的靈敏度范圍為0.2至10μm,流速為2.83 lpm或28.3 lpm,旨在滿足半導(dǎo)體、硬盤驅(qū)動(dòng)器和平板顯示行業(yè)潔凈室操作的特定需求。
MET ONE 6000具有一系列通信和機(jī)械安裝選項(xiàng),易于與任何設(shè)施監(jiān)控系統(tǒng)集成。這些功能還減少了儀器在常規(guī)校準(zhǔn)和預(yù)防性維護(hù)周期內(nèi)拆卸和重新安裝的停機(jī)時(shí)間。
Met One 6000提供診斷功能,可縮短故障排除時(shí)間和相關(guān)停機(jī)成本。Met One 6000采用長(zhǎng)壽命激光技術(shù)制造,并由貝克曼提供售后支持,在產(chǎn)品質(zhì)量、可靠性和性能方面為遠(yuǎn)程粒子提供的用戶體驗(yàn)。
6105系列粒子計(jì)數(shù)器
用在醫(yī)藥重要的*層流下和灌裝線的粒子監(jiān)測(cè):
測(cè)量每立方米或者立方英尺中0.5微米和5微米的粒子,28.3L和2.83L采樣流量,安裝在重要的監(jiān)測(cè)點(diǎn),配帶防靜電等動(dòng)力采樣頭和真空泵連接軟管。
我們也提供傳統(tǒng)的多點(diǎn)采樣探頭,在28.3L的流量下測(cè)量0.5和5微米的粒子,達(dá)到32個(gè)采樣點(diǎn)位置,外置泵,易于維護(hù)。
微電子行業(yè)提供低至0.3微米的粒子測(cè)量!