烘膠臺(tái)

烘膠臺(tái)（WH-HP-01）是汶顥股份獨(dú)立開發(fā)，專門用于光刻工藝中的前烘和堅(jiān)膜，依據(jù)工藝需要設(shè)定不同的溫度，依次發(fā)生變化。 該設(shè)備采用 PID 控溫系統(tǒng)，自動(dòng)測(cè)溫控溫，并具有兩段式自動(dòng)升溫，烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn)，可長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)穩(wěn)定工作。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高，具有較高的性能價(jià)格比，可廣泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn)。
與傳統(tǒng)的烘箱，真空干燥箱相比，優(yōu)勢(shì)有以下幾點(diǎn)：烘膠時(shí)間短、重復(fù)性高、薄膜固化效果

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

       在微流控芯片領(lǐng)域，PDMS 芯片是其中應(yīng)用的一類芯片，制備PDMS 芯片的主流工藝為光刻工藝，烘膠是此工藝的其中一步，而溫度控制對(duì)于烘膠來(lái)說(shuō)，是zui為關(guān)鍵的。

                                                         烘膠臺(tái)

       烘膠臺(tái)（WH-HP-01）是汶顥股份獨(dú)立開發(fā)，專門用于光刻工藝中的前烘和堅(jiān)膜，依據(jù)工藝需要設(shè)定不同的溫度，依次發(fā)生變化。 該設(shè)備采用 PID 控溫系統(tǒng)，自動(dòng)測(cè)溫控溫，并具有兩段式自動(dòng)升溫，烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn)，可長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)穩(wěn)定工作。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高，具有較高的性能價(jià)格比，可廣泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn)。

與傳統(tǒng)的烘箱，真空干燥箱相比，優(yōu)勢(shì)有以下幾點(diǎn)：烘膠時(shí)間短、重復(fù)性高、薄膜固化效果好，烘膠速度快，效率高。

 

性能參數(shù)

（1）電源輸入：AC220V±10V，50HZ      

（2）功率：650W

（3）參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)

（4）控溫形式：PID控溫系統(tǒng)

（5）烘膠溫度：≤200℃

（6）控溫精度：±1℃

（7）烘膠板規(guī)格：φ200

（8）外形尺寸：360*280*170mm

（9）整機(jī)重量：15kg

 

操作說(shuō)明

（1）開機(jī)：接通電源打開背面電源開關(guān)，觸摸屏點(diǎn)亮，進(jìn)入溫度顯示界面，進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)。

（2）設(shè)定溫度：點(diǎn)擊觸摸屏進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置界面，分別設(shè)置一階段溫度、維持時(shí)間和二階段溫度、維持時(shí)間。

（3）啟動(dòng)運(yùn)行：點(diǎn)擊觸摸屏進(jìn)入溫度顯示界面，點(diǎn)擊啟動(dòng)，此時(shí)設(shè)備開始按設(shè)定溫度升溫，并能觀測(cè)溫度實(shí)時(shí)曲線，當(dāng)前溫度與目標(biāo)溫度相差1℃時(shí)，開始計(jì)算階段溫度剩余時(shí)間。

（4）停止加熱：點(diǎn)擊停止鍵，風(fēng)扇開始運(yùn)作，設(shè)備停止加熱進(jìn)入降溫狀態(tài)。

（5）冷卻關(guān)機(jī)：烘膠結(jié)束后，烘膠板還在高溫狀態(tài)，此時(shí)應(yīng)繼續(xù)保持通電一段時(shí)間，以便設(shè)備降溫冷卻，避免因關(guān)機(jī)時(shí)溫度過(guò)高造成儀器內(nèi)部損壞和使用人員燙傷，當(dāng)溫度降至50℃以下時(shí)關(guān)閉電源開關(guān)，并拔掉電源插頭。