詳細介紹
半導體行業(yè)用超純水的工藝
超純水設備是用在反滲透等水處理工藝之后,用來制取超純水的水處理設備。設備將陰、陽離子按照比例混合裝填于同一容器內,使其處理后的水質電導率可低于1uS/cm以下,出水電阻率達到10MΩ.cm以上,根據不同行業(yè)的用水要求,可將出水電阻率可控制在1-18MΩ.cm之間。
半導體行業(yè)用超純水的工藝優(yōu)勢:
1、設備運行安全、穩(wěn)定、可靠,并實現系統設備的遠程監(jiān)控。
2、設備配有聲光報警,設備運行出現任何異常時,系統可進行聯鎖保護。
3、控制系統采用集中監(jiān)控方式,能與工藝系統網絡通訊,實現工藝系統全自動運行。
4、終端供水泵能夠實現不降壓設備切換。
半導體行業(yè)用超純水的工藝應用范圍
1、液晶顯示器的生產、屏面需用純水清洗和用純水配液。
2、晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制。
3、集成電路生產中高純水清洗硅片。
4、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路。
萊特萊德公司服務流程:
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