無塵室運轉(zhuǎn)與維護管理

無塵室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包括空調(diào)送風、間隙滲入、建筑物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括制程設備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。

為微塵粒子的傳送路徑。無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度；無塵室運轉(zhuǎn)管理，可依作業(yè)人員、原物料、設備及無塵室內(nèi)所用東西等加以探討；無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對該二系統(tǒng)之運轉(zhuǎn)維護及保養(yǎng)做一概略說明。

塵室污染源運轉(zhuǎn)管理維護保養(yǎng)

污染源控制 無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度。無塵室內(nèi)之微污染來源，經(jīng)測試分析結果，作業(yè)人員占約80%，實驗數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，有人動作時，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。

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