1 引言

目前激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的用戶越來越多，激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥、電子、精密機(jī)械、彩管制造、微生物等行業(yè)中，實(shí)現(xiàn)對各種潔凈等級(jí)的工作臺(tái)、凈化室、凈化車間的凈化效果、潔凈級(jí)別進(jìn)行監(jiān)控，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量塵埃粒子計(jì)數(shù)器是用于測量潔凈環(huán)境（粒子濃度不大于100萬/28.3L）中單位空氣體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器。塵埃粒子計(jì)數(shù)器廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥、電子、精密機(jī)械、彩管制造、微生物等行業(yè)中，實(shí)現(xiàn)對各種潔凈等級(jí)的工作臺(tái)、凈化室、凈化車間的凈化效果、潔凈級(jí)別進(jìn)行監(jiān)控，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量。粒子濃度常見的塵埃粒子計(jì)數(shù)器是光散射式（ DAPC）的，測量粒徑范圍0.1-10μm，此外還有凝聚核式的塵埃粒子計(jì)數(shù)器（ CNC），可測量尺寸更小的粒子。本文將介紹光散射式塵埃粒子計(jì)數(shù)器。

2.激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的工作原理

激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器基本原理是光學(xué)傳感器的探測激光經(jīng)塵埃粒子散射后被光敏元件接收并產(chǎn)生脈沖信號(hào)，該脈沖信號(hào)被輸出并放大，然后進(jìn)行數(shù)字信號(hào)處理，通過與標(biāo)準(zhǔn)粒子信號(hào)進(jìn)行比較，將對比結(jié)果用不同的參數(shù)表示出來?？諝庵械奈⒘Ｔ诠獾恼丈湎聲?huì)發(fā)生散射，這種現(xiàn)象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關(guān)。但是就散射光強(qiáng)度和微粒大小而言，有一個(gè)基本規(guī)律，就是微粒散射光的強(qiáng)度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強(qiáng)度就可推知微粒的大小，實(shí)際上，每個(gè)粒子產(chǎn)生的散射光強(qiáng)度很弱，是一個(gè)很小的光脈沖，需要通過光電轉(zhuǎn)換器的放大作用，把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號(hào)幅度較大的電脈沖，然后再經(jīng)過電子線路的進(jìn)一步放大和甄別，從而完成對大量電脈沖的計(jì)數(shù)工作。此時(shí)，電脈沖數(shù)量對應(yīng)于微粒的個(gè)數(shù)，電脈沖的幅度對應(yīng)于微粒的大小。這就是光散射式激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的基本原理。

3.1光源

光源是激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的關(guān)鍵部件，對儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高、壽命長、不受干擾。激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開機(jī)后需要預(yù)熱。激光光源為激光器，體積小、穩(wěn)定性高、壽命長，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。常見的激光光源有 HeNe激光器、激光二極管。采用普通光源的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器對 0.3μm以下的微粒信號(hào)響應(yīng)很低，其信號(hào)幅度與計(jì)數(shù)器本身的噪聲幅度相差無幾，信號(hào)很難從噪聲中檢測出來。此類儀器雖然標(biāo)有 0.3μm這一通道，但只適于測定大于 0.3μm特別是 0.5μm以上的微粒。由于激光的單色性好，光能量集中穩(wěn)定，所以采用激光光源的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器其傳感器有較高的信噪比，此類儀器有些能檢測到 0.1μm的微粒。

3.2 測量腔

測量腔是進(jìn)行微粒觀測的空間，被采集的空氣要從測量腔內(nèi)穿過。儀器的光學(xué)系統(tǒng)使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測量腔中，形成一個(gè)體積約幾個(gè)立方毫米的光敏感區(qū)。當(dāng)空氣中的塵埃通過光敏感區(qū)時(shí)，會(huì)散射出一部分光能量，被與入射光成一角度（90度或 70度）的集光透鏡收集，再投射到光檢測器上。

3.3 光檢測器

光檢測器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的光電轉(zhuǎn)換器件。激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器中zui常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個(gè)毫伏到幾十毫伏的電信號(hào)，具有光譜線性好、響應(yīng)時(shí)間快、暗電流小的優(yōu)點(diǎn)，缺點(diǎn)是體積大。光電倍增管工作時(shí)需加上幾百伏特的負(fù)高壓，儀器中有相應(yīng)的高壓產(chǎn)生電路，在對儀器進(jìn)行調(diào)試或校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)注意安全。光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導(dǎo)體元件，具有體積小、外圍電路簡單的特點(diǎn)，常與檢測腔做成一體。

3.4流量監(jiān)控

激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的采樣流量一般為 2.83L/min或 28.3L/min，進(jìn)口儀器常標(biāo)識(shí)為

0.1cfm（立方英尺每分鐘）或 1cfm，主要是為了便于進(jìn)行符合 Fed-Std-209E的潔凈度的計(jì)算。大流量的采樣（ 28.3L/min）更能準(zhǔn)確地反映空氣的潔凈狀況，但使zui大采樣濃度降低。

3.5氣泵及過濾器

氣泵位于激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器內(nèi)部，氣泵使儀器產(chǎn)生采樣流量。氣泵要求噪音低、振動(dòng)小、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定。過濾器應(yīng)能過濾掉 0.3μm以上的微粒，以免從儀器排出的空氣對潔凈區(qū)產(chǎn)生影響。

3.6電路系統(tǒng)

不同粒徑大小的粒子經(jīng)激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光電系統(tǒng)轉(zhuǎn)換后，會(huì)產(chǎn)生不同幅度（電壓）的電脈沖信號(hào)，粒徑越大，脈沖電壓越高。信號(hào)電壓與粒徑之間的關(guān)系，也叫轉(zhuǎn)換靈敏度。對于給定的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器，粒徑大小與脈沖電壓是一一對應(yīng)的，例如某臺(tái)激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度為 0.3μm對應(yīng) 69mv，0.5μm對應(yīng) 531mv， 1.0μm對應(yīng) 701mv等，若激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測到一個(gè)脈沖為 100mv，則這個(gè)粒子的大小肯定大于0.3μm而小于 0.5μm。激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器是測量大于等于某一粒徑的粒子數(shù)量的儀器，其內(nèi)部電路就是統(tǒng)計(jì)大于等于某一電壓值的脈沖數(shù)量的電路。對于上段中的例子，測量空氣中大于等于 0.3μm粒子的數(shù)量，在電路中就是統(tǒng)計(jì)大于等于 69mv的脈沖的個(gè)數(shù)，測量大于等于 0.5μm粒子的數(shù)量，在電路中就是統(tǒng)計(jì)大于等于531mv的脈沖的個(gè)數(shù)，依此類推。所以儀器對塵埃粒子的測量，主要靠轉(zhuǎn)換靈敏度這個(gè)參數(shù)。

另外需要說明的是，每臺(tái)激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度均不同，在出廠時(shí)及以后須定期用標(biāo)準(zhǔn)粒子進(jìn)行校準(zhǔn)，以獲得轉(zhuǎn)換靈敏度值。電路系統(tǒng)就是完成對脈沖信號(hào)的放大、甄別、計(jì)數(shù)的電路。此外還包括電源、控制、顯示、計(jì)算、打印等電路。

使用激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的注意事項(xiàng)

1、當(dāng)入口管被蓋住或被堵塞，不要啟動(dòng)計(jì)數(shù)儀

2、激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器應(yīng)該在潔凈環(huán)境下使用，以防止對激光傳感器的損傷。

3、不要測有可能在計(jì)數(shù)器內(nèi)產(chǎn)生爆炸的氣體。

4、沒有高壓減壓設(shè)備（如高壓擴(kuò)散器）不要取樣壓縮空氣，

5、水，溶液或其它液體都不能從入口管進(jìn)入傳感器。

6、取樣時(shí)，僻免取樣從計(jì)數(shù)器本身排出來的或被計(jì)數(shù)器出來的氣體所污染的氣體。

7、在連接外置打印機(jī)或連接外接溫濕度傳感器時(shí)，需先關(guān)掉計(jì)數(shù)器；

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