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沃尼風(fēng)凈化技術(shù)(上海)有限公司
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更新時間:2021-04-08 12:11:31瀏覽次數(shù):323次
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針對不同使用環(huán)境的化學(xué)過濾器在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,不僅微小的顆粒甚至是極其微量的化學(xué)污染也會降低產(chǎn)品的合格率
針對不同使用環(huán)境的化學(xué)過濾器
在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,不僅微小的顆粒甚至是極其微量的化學(xué)污染也會降低產(chǎn)品的合格率。
因此,半導(dǎo)企業(yè)通過安裝高效率的化學(xué)過濾器,實現(xiàn)潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。
我司生產(chǎn)的化學(xué)過濾器,能夠有效地去除半導(dǎo)體工廠中的AMCs物質(zhì)。
AMCsAirbome molecular contamination ) 是半導(dǎo)體生產(chǎn)當(dāng)中各種化學(xué)污染物質(zhì)的統(tǒng)稱(有機,堿性,酸性氣體)。
特點:
1.去除效率高達(dá)90%以上
2.使用壽命長
3.精良的制造技術(shù),安裝方便
4.一條龍服務(wù)(從附著劑加添,產(chǎn)品組裝到安裝)
5.可以按照客戶的要求設(shè)計過濾器
適用范圍:
1.半導(dǎo)體,LCD等超精密制造工藝
2.惡臭以及有害氣體容易產(chǎn)生的地方
3.醫(yī)院,博物館公共場所等對空氣環(huán)境要求高的場所
主要產(chǎn)品:
1.● CAFILDEX® PL系列
規(guī)格 | CAFILDEX PL系列 |
大小 (W*L*D/mm) | 610*610*150T (接受非標(biāo)定做) |
效率(%) | < 90 |
速度 (m/s) | ~ 2.5 |
差壓(mmAq) | ~ 15.0 |
媒介 | IER, IAC, IA,吸附劑 |
框架 | AL, GI, SUS |
適用對象 | FFU, EFU, MAU, RAU |
目標(biāo)氣體 | NH3, tAcid, VOCs |
2.● CAFILDEX® TY系列
規(guī)格 | CAFILDEX TY系列 |
大小 (W*L*D/mm) | 610*610*450T (接受非標(biāo)定做) |
效率(%) | < 90 |
速度 (m/s) | ~ 2.5 |
差壓(mmAq) | ~ 15.0 |
媒介 | IER, IAC, IA,吸附劑 |
框架 | AL, GI, SUS |
適用對象 | MAU, RAU |
目標(biāo)氣體 | NH3, tAcid, VOCs |
3.● CAFILDEX® CE 系列
規(guī)格 | CAFILDEX® CE系列 |
大小 (W*L*D/mm) | 572*1167*55T (接受非標(biāo)定做) |
效率(%) | < 90 |
速度 (m/s) | ~ 0.45 |
差壓(mmAq) | ~ 3.0 |
媒介 | IER, IAC, IA, 吸附劑 |
框架 | AL, GI, SUS |
適用對象 | FFU, EFU, MAU, RAU |
目標(biāo)氣體 | NH3, tAcid, VOCs |
4.● CAFILDEX® BT 系列
規(guī)格 | CAFILDEX BT系列 |
大小 (W*L*D/mm) | 640*640*470 (接受非標(biāo)定做) |
效率(%) | < 90 |
速度 (m/s) | ~ 0.45 |
差壓(mmAq) | ~ 3.0 |
媒介 | IER, IAC, IA,吸附劑 |
框架 | AL, GI, SUS |
適用對象 | FFU |
目標(biāo)氣體 | NH3, tAcid, VOCs |
5
● CAFILDEX® SW系列
規(guī)格 | CAFILDEX SW系列 |
大小 (W*L*D/mm) | 610*610*200T (接受非標(biāo)定做) |
效率 (%) | < 90 |
速度 (m/s) | ~ 2.5 |
差壓(mmAq) | ~ 15 |
媒介 | IER, IAC, IA,吸附劑 |
框架 | AL, GI, SUS |
適用對象 | FFU, EFU, MAU, RAU |
目標(biāo)氣體 | NH3, tAcid, VOCs |
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