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透反射式硅片檢測顯微鏡BMT-600E

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更新時間：2021-08-13 17:29:45瀏覽次數(shù)：231次

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上海比目儀器有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品簡介

BMT-600大平臺硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有無限物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.

詳細(xì)介紹

一、用途：
BMT-600大平臺硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有無限物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中的檢測儀器之一.
二、技術(shù)參數(shù)

1.目鏡

類別	放大倍數(shù)	視場(mm)
大視野目鏡	10X	φ22

2.物鏡

類型	放大倍數(shù)	數(shù)值孔徑NA	工作距離（mm）
無限遠(yuǎn)長工作距離平場消色差物鏡	5X	0.12	26.1
	10X	0.25	20.2
	40X	0.60	3.98
	60X	0.70	3.18

3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X -- 600X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù)：50X-3500X
4.濾色片組：黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺：二層機(jī)械移動式:尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：鹵素?zé)?，亮度可調(diào);透射光源6V30W鹵素?zé)?，加裝散熱片。
9.防霉：*的防霉系統(tǒng)
三、系統(tǒng)組成
大平臺硅片檢測顯微鏡(BMT-600E): 1.顯微鏡 2.適配鏡 3、500萬高像素攝像頭
4、計算機(jī)(選配)
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測顯微鏡(BMT-600E)：50--4000倍（17寸顯示器為例）
五、選購件
1.二維測量軟件BM-3000C 2.目鏡： 20X 10X(帶刻度)

關(guān)鍵詞：顯微鏡