參考價	￥158696
訂貨量	1臺

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)	產(chǎn)品大小	小型
產(chǎn)品新舊	全新	結(jié)構(gòu)類型	半封閉式,立式
結(jié)構(gòu)類型	半封閉式,立式	溫度	低溫冷水機

【無錫冠亞】半導(dǎo)體控溫解決方案主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測試機和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備，?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽能光伏等領(lǐng)域。邊緣刻蝕單通道chiller 離子注入工序制冷

詳細(xì)介紹

無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司的半導(dǎo)體控溫解決方案

主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測試機和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備，

?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽能光伏等領(lǐng)域。

半導(dǎo)體行業(yè)主營控溫產(chǎn)品：

半導(dǎo)體專溫控設(shè)備

射流式?低溫沖擊測試機

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備chiller

Chiller氣體降溫控溫系統(tǒng)

Chiller直冷型

循環(huán)風(fēng)控溫裝置

半導(dǎo)體?低溫測試設(shè)備

電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩?/span>

射流式高低溫沖擊測試機

快速溫變控溫卡盤

數(shù)據(jù)中心液冷解決方案

型號	FLT-002	FLT-003	FLT-004	FLT-006	FLT-008	FLT-010	FLT-015
型號	FLT-002W	FLT-003W	FLT-004W	FLT-006W	FLT-008W	FLT-010W	FLT-015W
溫度范圍	5℃～40℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
制冷量at10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等（DI溫度需要控制10℃以上）
進(jìn)出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/h	2m3/h	2.5m3/h	4m3/h	4.5m3/h	5.6m3/h	9m3/h
電源380V	3.5kW	4kW	5.5kW	7kW	9.5kW	12kW	16kW
溫度擴展	通過增加電加熱器，擴展-25℃～80℃

790卡盤_01.jpg

液冷790_01.jpg

邊緣刻蝕單通道chiller 離子注入工序制冷

邊緣刻蝕單通道chiller 離子注入工序制冷

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制造過程中準(zhǔn)確控制反應(yīng)室的溫度。半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備利用制冷循環(huán)和工藝?yán)鋮s水的熱交換原理通過對半導(dǎo)體工藝設(shè)備使用的循環(huán)液的溫度、流量和壓力進(jìn)行控制，以實現(xiàn)半導(dǎo)體工藝制程的控溫需求，是集成電路制造過程中*關(guān)鍵設(shè)備。

半導(dǎo)體行業(yè)控溫解決方案-溫控系統(tǒng)

?錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司是?家集研發(fā)、?產(chǎn)和銷售為?體的?端裝備制造企業(yè)，主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測試機和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等專?設(shè)備，?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽能光伏等領(lǐng)域。

Chiller直冷型

溫度控制范圍：-150℃ 至 -15℃

將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進(jìn)??標(biāo)控制元件（換熱器）換熱，從?使?標(biāo)控制對象降溫。具備換熱能?相對于流體（?體）輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上，這樣特別適?于換熱器換熱?積?，但是換熱量?的運?場所。也可以如?體捕集運?，將制冷劑直接通?捕集器蒸發(fā)，通過捕集器表?冷凝效應(yīng)，迅速捕集空間中的?體。