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側(cè)墻刻蝕單通道chiller 涂布和顯影工序制冷

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參考價 158333
訂貨量 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 FLT-002
  • 品牌 冠亞制冷
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 無錫市

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更新時間:2023-12-12 10:15:56瀏覽次數(shù):266

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地 國產(chǎn) 產(chǎn)品大小 小型
產(chǎn)品新舊 全新 結(jié)構(gòu)類型 半封閉式,立式
結(jié)構(gòu)類型 半封閉式,立式 溫度 低溫冷水機
【無錫冠亞】半導體控溫解決方案主要產(chǎn)品包括半導體專?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備,?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領(lǐng)域。側(cè)墻刻蝕單通道chiller 涂布和顯影工序制冷

詳細介紹


無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司的半導體控溫解決方案

主要產(chǎn)品包括半導體專?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備,

?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領(lǐng)域。


半導體行業(yè)主營控溫產(chǎn)品:


半導體專溫控設(shè)備

射流式?低溫沖擊測試機

半導體專用溫控設(shè)備chiller

Chiller氣體降溫控溫系統(tǒng)

Chiller直冷型

循環(huán)風控溫裝置

半導體?低溫測試設(shè)備

電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試冷熱源

射流式高低溫沖擊測試機

快速溫變控溫卡盤

數(shù)據(jù)中心液冷解決方案




型號FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
溫度范圍5℃~40℃
控溫精度±0.1℃
流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI溫度需要控制10℃以上)
進出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
電源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
溫度擴展通過增加電加熱器,擴展-25℃~80℃




側(cè)墻刻蝕單通道chiller 涂布和顯影工序制冷

側(cè)墻刻蝕單通道chiller 涂布和顯影工序制冷

半導體專用溫控設(shè)備(Chiller)主要用于半導體制造過程中準確控制反應室的溫度。半導體專用溫控設(shè)備利用制冷循環(huán)和工藝冷卻水的熱交換原理通過對半導體工藝設(shè)備使用的循環(huán)液的溫度、流量和壓力進行控制,以實現(xiàn)半導體工藝制程的控溫需求,是集成電路制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備。

半導體行業(yè)控溫解決方案-溫控系統(tǒng)

?錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司是?家集研發(fā)、?產(chǎn)和銷售為?體的?端裝 備制造企業(yè),主要產(chǎn)品包括半導體專?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等專?設(shè)備,?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領(lǐng)域。

Chiller直冷型

溫度控制范圍:-150℃ 至 -15℃

將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進??標控制元件(換熱器)換熱,從?使?標控制對象降溫。具備換熱能?相對于流體(?體)輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上,這樣特別適?于換熱器換熱?積?,但是換熱量?的運?場所。也可以如?體捕集運?,將制冷劑直接通?捕集器蒸發(fā),通過捕集器表?冷凝效應,迅速捕集空間中的?體。

循環(huán)風控溫裝置

溫度控制范圍:-105℃ 至+125℃

運?于半導體設(shè)備?低溫測試。電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試冷熱源;獨?的制冷循環(huán)?機組;

可連續(xù)?時間?作,?動除霜,除霜過程不影響庫溫;模塊化設(shè)計,備?機替換容易(只要?臺備?機組即可);

解決頻繁開關(guān)?,蒸發(fā)系統(tǒng)結(jié)霜問題;蒸發(fā)系統(tǒng)除霜過程不影響。



射流式高低溫沖擊測試機

射流式高低溫沖擊測試機給芯片、模塊、集成電路板、電子元器件等提供準確且快速的環(huán)境溫度。是對產(chǎn)品電性能測試、失效分析、可靠性評估的儀器設(shè)備。

溫度控制范圍:-120℃ 至+300℃,升降溫速率???焖?,150℃?-55℃<10秒,zui??流量:30m3/h;

實時監(jiān)控被測IC真實溫度,實現(xiàn)閉環(huán)反饋,實時調(diào)整?體溫度升降溫時間可控,程序化操作、?動操作、遠程控制

測試條件:環(huán)境溫度20℃,30m3/h,5Bar,壓縮空?或氮?可定制100m3/h?體流量快速沖擊測試機,?于滿?較?測試功率需求


快速溫變控溫卡盤

該產(chǎn)品可以實現(xiàn)快速溫度變化,準確控制溫度。系統(tǒng)本??帶制冷機,避免了液氮、?氧化碳等的消耗,每個系統(tǒng)均包含了卡盤和冷熱控制單元。

系統(tǒng)提供開放的表?平整?作平臺,快速升降溫、恒溫控制,運?于RF器件和?密度功率器件測試,也可以運?于實驗室平板快速冷卻(?物制品、電池)等平板內(nèi)部采?制冷劑直接蒸發(fā)?式,相對液冷?式?幅度提?了換熱效率,提?單位?積平板的換熱功率。


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