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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品新舊 | 全新 |
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詳細(xì)介紹
技術(shù)參數(shù)
額定功率 | 5KW |
額定電壓 | AC 220V Single Phase，50/60 Hz |
外管尺寸 | Φ50*1200mm高純石英管(管徑可選） |
常規(guī)處理量 | 0.1-50g |
升華區(qū)溫度 | 50-800℃ |
沉積區(qū)區(qū)溫度 | 50-500℃ |
加熱區(qū)分布 | 100+200+100+100+100mm |
控溫方式 | 數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表，采用模糊型PID控制 |
控溫點數(shù)量 | 5點獨立控溫 |
開啟方式 | 開門式爐體結(jié)構(gòu)上下翻蓋液壓手動開啟 |
極限真空（潔凈系統(tǒng)） | 5X10-5Pa |
分子泵抽氣速率 | 100L/S |
過濾方式 | 系統(tǒng)采用三級過濾保護(hù)裝置，分別采用多級微孔金屬濾網(wǎng)、液氮內(nèi)嵌式冷凝、90度直角臺階式過濾 |
本底真空 | 機(jī)械泵系統(tǒng)：1Pa |
| 分子泵系統(tǒng)：10-3Pa |
細(xì)節(jié)展示
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