微型PECVD系統(tǒng)

真空管式爐

爐管尺寸：

外徑Φ50×700mm

極限溫度：

1200℃

溫度控制器：

PID自動(dòng)控制晶閘管（可控硅）輸出功率，30段可編程控制器

zui快升降溫速率：

60℃

加熱區(qū)：

230mm

恒溫區(qū)：

100mm

溫度精度：

±1℃

電源：

單相220V,交流50Hz

多通道流量計(jì)控制系統(tǒng)

標(biāo)準(zhǔn)量程：

100，200SCCM；（以氮?dú)鈽?biāo)定，除以上標(biāo)準(zhǔn)外量程可選）

準(zhǔn)確度：

±1.5%

工作壓差范圍：

0.1～0.5 MPa

zui大壓力：

3MPa

接頭類型：

Φ6雙卡套不銹鋼接頭

高真空系統(tǒng)

泵體積流量N₂：

33 L/S

壓縮比：

≥10¹¹mbar   

實(shí)驗(yàn)真空值：

≤10^-6mbar

功率消耗：

140W

啟動(dòng)時(shí)間：

2min

電源要求：

185-265V AC

射頻電源

信號(hào)頻率：

13.56MHz±0.005%W

功率輸出范圍：

0-100W

zui大反射功率：

10W