上海騰宏毅實業(yè)有限公司
主營產(chǎn)品: 晶圓清洗機 阿貝折射儀 振動試驗臺 砂塵試驗箱 |
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參考價 | 面議 |
聯(lián)系方式:鄒志勇查看聯(lián)系方式
更新時間:2018-05-15 16:34:04瀏覽次數(shù):2337
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1、平面平晶 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格尺寸: 單位:mm
規(guī)格 | 30mm | 45mm | 60mm | 80mm | 100mm | 150mm | 200mm | 250mm | 300mm |
直徑 | Φ30 | Φ45 | Φ60 | Φ80 | Φ100 | Φ150 | Φ200 | Φ250 | Φ300 |
高度 | 15mm | | 20mm | 20mm | 25mm | 30mm | 40mm | 45mm | 45mm |
特殊規(guī)格尺寸平面平晶,環(huán)形,方形可定做.
2、制成精度:1級
3、工作面的平面度偏差允許值為:
直徑為 30至100mm 1級平晶 0.03μm
直徑為 100至300mm 1級平晶 0.05μm
更大尺寸平面度偏差允許值,根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)。
4、工作面的局部偏差允許值為: 0.03μm
5、測量工作應(yīng)在室溫2 0℃±3℃條件下保持數(shù)小時后進行。
注:Ф200mm以上標(biāo)準(zhǔn)、環(huán)形需定做