制氧機的發(fā)展歷史
　　
　　首先，1958年，Skarstorm申請并應用此技術分離空氣。同時，GerindeMontgareuil和Domine也在法國申請。兩者的差別是，Skarstorm循環(huán)在床層吸附飽和后，用部分低壓的輕產品組分沖洗解吸，而Gerin-Domine循環(huán)采用抽真空的辦法解吸。
　　
　　1960年大型變壓吸附法空氣分離的工業(yè)化裝置建成。
　　
　　1961年用變壓吸附分離工藝從石腦油中回收高純度的正構烷溶劑，并命名為Isosiv過程，1964年完善了從煤油餾分中回收正構烷烴的工藝。
　　
　　1966年利用變壓吸附技術提氫的四塔流程裝置建成，20世紀70年代后采用四塔以上的多塔操作，并向大規(guī)模、大型化發(fā)展。
　　
　　1970年又建成分離和回收氧的工業(yè)化裝置，用于環(huán)保工業(yè)污水處理生化的需要。同時被廣泛用于從石腦油中提取正構烷烴，再經異構化，將異構化產物加入汽油餾分中，以提高其辛烷的Hysomer過程。
　　
　　1975年試制成醫(yī)用富氧濃縮器，1976年開發(fā)了用碳分子篩變壓吸附制氮的工藝并工業(yè)化，隨后采用沸石分子篩抽真空制氮工藝。到1983年德國推出性能優(yōu)良的制氮用碳分子篩。到1979年為止，約有一半的空氣干燥器采用Skarstrom的變壓吸附工藝。變壓吸附用于空氣或工業(yè)氣體的干燥比變溫吸附更為有效。1980年開發(fā)了快速變壓吸附工藝（又稱為參數泵變壓吸附）。
　　
　　從20世紀90年代起，由于電能緊張，變壓吸附制氧又在煉鋼等領域占有了一席之地。