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詳細(xì)介紹
SPV-12Z在線片式真空等離子清洗機(jī)是一款半導(dǎo)體行業(yè)專用RF在線片式真空清洗機(jī)，清洗均勻性達(dá)5%，合格率達(dá)99%，確保產(chǎn)品不變色。
工作原理
等離子表面處理是通過(guò)對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性"組成包括：離子、電子、原子、活性基因等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
在線片式真空等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為五大組成部分：控制系統(tǒng)、激勵(lì)電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、真空泵系統(tǒng)。
（A）控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)作用在于控制整個(gè)在線片式真空等離子清洗設(shè)備的運(yùn)行，以及整體系統(tǒng)的保護(hù)。
（B）激勵(lì)電源系統(tǒng)：等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵(lì)，在線片式真空等離子采用RF電源，功率0-600W，頻率13.56MHZ。
（C）真空腔體：真空腔體材質(zhì)為鋁合金（可定制不銹鋼腔體）
（D）工藝氣體系統(tǒng)：標(biāo)配兩路工藝氣體，氬氣/氧氣（可定制）
（E）真空泵系統(tǒng)：真空泵組采用油泵，抽真空速度是決定一臺(tái)真空等離子清洗機(jī)工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。
行業(yè)專用方案
半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用
芯片粘接前處理：去除材料表面污染物，增加表面潤(rùn)濕性能，提升膠體流動(dòng)性，保證與其他材料的結(jié)合能?。
塑封前處理：去除材料表面污染物，使芯片表面與塑封材料結(jié)合牢固，減少分層與氣泡等不良的產(chǎn)?。
金屬鍵合前處理：去除金屬焊盤上的有機(jī)污染物，提高焊接工藝的強(qiáng)度和可靠性。
芯片粘接前處理：去除材料表面污染物，增加表面潤(rùn)濕性能，提升膠體流動(dòng)性，保證與其他材料的結(jié)合能?。
塑封前處理：去除材料表面污染物，使芯片表面與塑封材料結(jié)合牢固，減少分層與氣泡等不良的產(chǎn)?。
金屬鍵合前處理：去除金屬焊盤上的有機(jī)污染物，提高焊接工藝的強(qiáng)度和可靠性。
設(shè)備視頻
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
兼容性強(qiáng)
軌道間距可調(diào)，兼容性強(qiáng)，兼容產(chǎn)品長(zhǎng)180-280mm×寬25-90mm
軌道間距可調(diào)，兼容性強(qiáng)，兼容產(chǎn)品長(zhǎng)180-280mm×寬25-90mm
01
產(chǎn)能提升
四道同時(shí)上料，雙工位切換處理，提升產(chǎn)能
四道同時(shí)上料，雙工位切換處理，提升產(chǎn)能
02
處理效果好
一體式電極板設(shè)計(jì)，等離子體密度高，處理效果好，均勻性好
一體式電極板設(shè)計(jì)，等離子體密度高，處理效果好，均勻性好
03
自動(dòng)化程度高
工控系統(tǒng)控制，一鍵式操作，自動(dòng)化程度高，配備自動(dòng)取料、傳輸、送料等功能，減少人為操作導(dǎo)致二次污染
工控系統(tǒng)控制，一鍵式操作，自動(dòng)化程度高，配備自動(dòng)取料、傳輸、送料等功能，減少人為操作導(dǎo)致二次污染
04
應(yīng)用案例
半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域等離子清洗
微波等離子在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用
半導(dǎo)體微波等離子處理機(jī)的優(yōu)勢(shì)及效果
產(chǎn)品推薦
SPV-24M微波在線片式真空等離子清洗機(jī)
專門針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的微波在線片式真空等離子清洗機(jī)，針對(duì)半導(dǎo)體芯?粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、?屬鍵合前處理。等離子體不帶電，不對(duì)精密電路造成損害，采用磁約束方式，可兼容微波結(jié)和磁路。
SPMV-100H腔體式微波真空等離子清洗機(jī)
自由基分子的等離子體無(wú)偏壓，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品有電性損壞，去膠速率高
SPV-100真空等離子清洗機(jī)
超低處理溫度45℃，不造成熱影響，確保穩(wěn)定的處理效果
設(shè)備參數(shù)
| 設(shè)備尺寸 | 1650*1318*1803mm（長(zhǎng)*寬*高） |
| RF電源 | 功率0-600W 頻率13.56MHZ |
| 容積 | 12升（長(zhǎng)500*寬340*高70mm） |
| 電極尺寸 | 300*570mm |
| 軌道數(shù)量 | 4條*2（分為待料區(qū)與處理區(qū)） |
| 氣路配置 | 標(biāo)配兩路，氬氣/氧氣（可定制） |
| 系統(tǒng)控制 | 工控系統(tǒng) |
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