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詳細介紹
產品特點：
●采用上進氣下抽氣的方式，的抽氣擋板保證優(yōu)良的均勻性。
●具有缺氣、壓力保護、電路保護等安全保護系統(tǒng)。
●電極板用整塊鋁板中間鏤空，冷卻通道采用深鉆孔方式結合內部特定位置截流，引導冷卻水按規(guī)定方向運行，保證溫度均勻性。
采用兩路水路，分別單獨給真空腔體和干泵 確保冷卻效果。
技術參數:
序號 | 型號 | AV-P30 |
1 | 設備外形尺寸 | 長×深×高＝2380mm×2150mm×2200mm |
2 | 真空腔體尺寸 | 長×深×高＝1445mm×1265mm×1055mm |
3 | 大處理尺寸 | 長×寬＝1120mm×635mm |
4 | 大處理層數 | 15層 |
5 | 輸入電壓 | 三相交流 380V 50Hz |
6 | 輸出頻率 | 40KHz |
7 | 輸出功率 | 10Kw |
8 | 放電真空度 | 20Pa-80Pa |
9 | 可加載氣體 | 四種（O?，N?，H?，CF4) |
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