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詳細(xì)介紹
化學(xué)氣相沉積爐應(yīng)用領(lǐng)域
??化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積，如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理。
化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品規(guī)格
| 產(chǎn)品型號/規(guī)格W×H×L(mm) | 600*600*1000 | 800*800*1200 | 1000*1000*1500 | 1200*1200*2500 | 1500*1500*3000 | 2500*2000*3600 |
| 裝載重量(KG) | 350 | 800 | 1500 | 2500 | 5000 | 10000 |
| 溫度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±15 |
| 加熱功率(kw) | 250 | 360 | 480 | 600 | 900 | 1200 |
| 極限真空度(Pa) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
| 壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 以上化學(xué)氣相沉積爐參數(shù)可以根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。 | ||||||
化學(xué)氣相沉積爐主要配置
??爐門：絲杠升降//液壓升降/手動升降；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
??爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
??爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC
??加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
??工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)；手動閥/自動閥；進(jìn)口/國產(chǎn)
??真空泵和真空計(jì)---進(jìn)口/國產(chǎn)
??PLC：歐姆龍/西門子
??控溫儀表：日本島電/英國歐陸
??熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
??記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進(jìn)口/國產(chǎn)
??人機(jī)界面：模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)
??電器元件：正泰/施耐德/西門子
??料車：滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車
化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)特征
??本化學(xué)氣相沉積爐工作區(qū)尺寸可達(dá)2.5m×2m×4.5m，能滿足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求；
??本化學(xué)氣相沉積爐采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；
??本化學(xué)氣相沉積爐采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
??本化學(xué)氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
??本化學(xué)氣相沉積爐對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理。
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