實(shí)驗(yàn)室流化床管式爐系統(tǒng)帶超聲霧化

設(shè)計(jì)工作溫度：1100℃；
連續(xù)工作溫度：1000℃

設(shè)計(jì)升溫速率：≤20℃/min；

加熱區(qū)：200mm（單溫區(qū)）
恒溫區(qū)：100mm (±2℃)注：

電壓：AC 220V單相, 50/60 Hz ；
設(shè)計(jì)功率：1.2KW
由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系

雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

爐體設(shè)計(jì)為開啟式，以方便放樣和取樣

采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有美國進(jìn)口1760度高溫氧化鋁涂層，可延長儀器使用壽命和提高加熱效率

摻鉬鐵鉻鋁合金

包含一異型石英管

爐管尺寸：兩端：25 mm O.D，22 mm I.D

中間：50 mmO.D，44 mm I.D

詳細(xì)尺寸請點(diǎn)擊左圖查看）

中間區(qū)域的大尺寸確保了物料高的氣動(dòng)性

孔徑：5~15 um

尺寸：22mmO.D x 4mm厚

底部法蘭：常規(guī)設(shè)計(jì)1"不銹鋼真空法蘭，配備1/4"進(jìn)氣口用于懸浮氣體進(jìn)入

頂部法蘭：特殊設(shè)計(jì)的1"法蘭，可實(shí)現(xiàn)前驅(qū)體氣體或逆流氣體的進(jìn)氣和出氣，請點(diǎn)擊圖片查看詳情。

多路氣路系統(tǒng)可用于氣體控制

氧分析儀：氧分析儀可安裝在系統(tǒng)中用于檢測氣體中的氧含量從而防止或減少CVD過程中的氧化現(xiàn)象。點(diǎn)擊下圖了解更多詳細(xì)信息。

可設(shè)置30段升溫，保溫和降溫程序。

采用PID方式來調(diào)節(jié)溫度，并帶有過熱和斷偶保護(hù)

控溫精度：±1℃

一年保質(zhì)期，終生維護(hù)（不包含爐管、密封圈及加熱元件等耗材）

配有一個(gè)2.4MHz超聲霧化儀，可將液體霧化成亞微米級液滴引入到加熱流化區(qū)域進(jìn)行熱解或粉末表面的CVD涂層包覆
氣體以及亞微米級的霧化顆粒均勻分布在整個(gè)爐腔中

固體顆粒被底部通入的向上氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)

可提供的熱傳導(dǎo)及顆粒表面的均勻包覆

爐體設(shè)計(jì)為開啟式，當(dāng)實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，可將爐體打開，拿出石英管，取出反應(yīng)后的顆粒。

注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時(shí)，也許會(huì)因?yàn)闅怏w流量過大會(huì)使顆粒穿過加熱區(qū)，所以實(shí)驗(yàn)時(shí)要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調(diào)節(jié)氣體流量

220VAC，2.4MHz高頻超聲波霧化器，可將溶液霧化為亞微米級顆粒

液體罐上涂有氟化物，并采用氟膠密封圈密封

可設(shè)置超聲儀功率0-99%，每次按5%增加

外部配備有氟化物光學(xué)傳感器（耐腐蝕）以及閥門來確保內(nèi)部液面處于合適高度，避免液體量過少

316不銹鋼三通，帶有1/4英寸轉(zhuǎn)換接頭，用于通入載流氣體