氦質(zhì)譜檢漏儀用于電磁閥,直通閥檢漏

應(yīng)用十五、氦質(zhì)譜檢漏儀用于電磁閥檢漏

德國Pfeiffer HLT 560 氦質(zhì)譜檢漏儀用于電磁閥閥芯檢漏應(yīng)用案例—深圳某事業(yè)有限公司

一、 電磁閥閥芯檢漏原因:
該客戶是為日本某半導(dǎo)體設(shè)備廠生產(chǎn)精密零件鐳射焊接（電磁閥閥芯）,一共有5個(gè)型號(hào),月產(chǎn)量2000-3000個(gè)閥. 精密零件鐳射焊接（電磁閥閥芯）產(chǎn)品如下圖:

二、 電磁閥閥芯檢漏方法
大概的檢測(cè)過程為:來料用放大鏡目視檢測(cè),鐳射焊接完成后再目視檢測(cè),最后用氦氣質(zhì)譜檢漏儀做最后檢測(cè),漏率值以氦氣檢漏儀測(cè)出的資料為準(zhǔn).

客戶以前用的是日本某品牌的檢漏儀,現(xiàn)在新上的項(xiàng)目都改為德國Pfeiffer的HLT 560這一款檢漏儀,這是因?yàn)?只有德國Pfeiffer的HLT 560能滿足這么高的漏率值測(cè)試,且資料可靠.另外還具有操作簡單,生產(chǎn)效率高的優(yōu)點(diǎn).

三、電磁閥閥芯檢漏操作說明

由于半導(dǎo)體工業(yè)上用的氣體如矽烷( SiH4), 氨氣(NH3)等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對(duì)所用的閥及相關(guān)部件, 漏率要求非常嚴(yán)格, 要求成品最終漏率低于5-10 mbar l / s, 而這樣的漏率要求也只有氦質(zhì)譜檢漏儀能達(dá)到了.
1),先將閥接入工裝,形成一個(gè)密閉的腔體.再將檢漏儀連接到工裝上.
2),啟動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時(shí)顯示一個(gè)漏率值.
3),在鐳射焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣,同時(shí)觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.
4),如果漏率值上升,說明噴氦氣的地方有漏,該被檢對(duì)象品質(zhì)不合格.如果漏率值能達(dá)到要求,該被檢物件合格,檢漏檢測(cè)完成.

應(yīng)用十六、氦質(zhì)譜檢漏儀用于直通閥檢漏

一、閥門檢漏需求

閥門的密封性能是考核閥門品質(zhì)優(yōu)劣的主要指標(biāo)之一. 所以在設(shè)計(jì)生產(chǎn)閥門時(shí)就
要提高其密封性能, 并且在出廠前道工序應(yīng)對(duì)閥門做密封性檢測(cè). 目前國內(nèi)
許多閥門廠家使用水檢法和氣壓法進(jìn)行氣密性檢測(cè), 但是使用此方法只能檢到漏孔
比較大的情況, 一般最小可檢漏率1X10E-3 mbar l/s. 但隨著客戶對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)要求
的不斷提高, 水檢法和氣壓法已經(jīng)無法滿足要求. 為了保證產(chǎn)品競爭, 許多廠家引
進(jìn)了氦氣檢漏儀, 對(duì)于目前常用的檢漏方法, 氦氣檢漏法被為可靠的方法之一.
而德國Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀具有體積小、重量輕、內(nèi)部模組化設(shè)計(jì)、檢測(cè)維修方便、
使用簡單、一鍵式操作等優(yōu)點(diǎn)受到廣大客戶的青睞.

上海閥特流體主要生產(chǎn)銷售各種自動(dòng)控制閥門, 部門產(chǎn)品出口到國外. 如下圖所示
為該司生產(chǎn)的直通閥, 用于有毒氣體設(shè)備, 為了作業(yè)人員安全及避免環(huán)境污染, 客戶
要求出廠前對(duì)閥門做氣密性檢測(cè).

二、閥門檢漏方法
Pfeiffer HLT 系列氦質(zhì)譜檢漏儀同時(shí)擁有兩種檢漏模式, 真空模式 (vacuum mode)
及正壓模式 (sniffer mode), 可根據(jù)客戶不同需求, 選擇不同的檢漏方法. 閥門多
采用檢漏儀的負(fù)壓模式既真空模式檢漏, 其最小可檢查漏率為5X10-12 mbar l/s.

三、閥門檢漏操作
1. 如下圖所示, 工作人員用波紋管連接待檢測(cè)的直通閥與德國Pfeiffer HLT 560
氦質(zhì)譜檢漏儀.





2. 啟動(dòng)DUO 旋片泵, 直通閥抽真空, 同時(shí)啟動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀并顯示一個(gè)漏率值. 當(dāng)旋片泵
抽真空到達(dá)一定真空度（背壓為 25 mbar業(yè)界）時(shí), 可以進(jìn)行檢漏操作.

3. 如下圖工作人員向直通閥密封處和懷疑有漏的地方噴氦氣, 同時(shí)觀察檢漏儀上顯示的
漏率值有無變化.



4. 如果漏率值上升, 說明噴氦氣的地方有漏, 該被檢對(duì)象品質(zhì)不合格. 如果漏率值能
達(dá)到要求, 該被檢物件合格, 檢漏檢測(cè)完成.