產(chǎn)品簡介 【各項技術(shù)參數(shù)】ModelM3030VM3030A流量范圍(N2)10sccm~30000sccm5sccm~30000sccm相應(yīng)時間2sec2sec精準(zhǔn)度1%FS1%FS重復(fù)精度0
詳細(xì)介紹 【各項技術(shù)參數(shù)】 Model M3030V M3030A 流量范圍(N2) 10sccm ~ 30000sccm 5sccm ~ 30000sccm 相應(yīng)時間 ≤2 sec ≤2 sec 精準(zhǔn)度 ≤±1% FS ≤±1% FS 重復(fù)精度 ≤±0.25% FS ≤±0.25% FS 輸入/輸出信號 0~5 Vdc 0~5 Vdc OR 4~20 mA 供電電源 ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA 耐壓 ≤90 bar ≤90 bar 工作環(huán)境溫度 0~50 °C 0~50 °C 漏率 1*10E-9 atm cc/sec 1*10E-9 atm cc/sec 使用范圍 2 ~ 99% 2 ~ 99%
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