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詳細(xì)介紹
一、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐(CVD)特點(diǎn)：
1. 采用純微波加熱、～傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內(nèi)的任何材料，
2. 升溫速率快，智能控溫，可分段設(shè)置，控溫精度高，熱慣性小。此管式爐可同時(shí)加熱多個(gè)溫區(qū)，且加熱區(qū)長(zhǎng)度可調(diào)。
3. 可通各種氣氛，抽真空有機(jī)械泵、擴(kuò)散泵和分子泵，可達(dá)10-3Pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結(jié)構(gòu)），耐高溫、耐腐蝕；
5、保護(hù)管采用耐高溫合金管 ，氣管采用卡套或VCR接口，安裝方便；
6、爐體配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇，降低溫度；
8、真空系統(tǒng)：機(jī)械泵 擴(kuò)散泵和分子泵，真空密度計(jì)
9、可通過電腦全程監(jiān)控和調(diào)試；
二、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐(CVD)參數(shù)：
3. 可通各種氣氛，抽真空有機(jī)械泵、擴(kuò)散泵和分子泵，可達(dá)10-3Pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結(jié)構(gòu)），耐高溫、耐腐蝕；
5、保護(hù)管采用耐高溫合金管 ，氣管采用卡套或VCR接口，安裝方便；
6、爐體配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇，降低溫度；
8、真空系統(tǒng)：機(jī)械泵 擴(kuò)散泵和分子泵，真空密度計(jì)
9、可通過電腦全程監(jiān)控和調(diào)試；
二、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐(CVD)參數(shù)：
| 型號(hào)/model | WBMW-QXCJ4 | ||
| 可加熱材料 | 非易燃易爆的任何材料 | ||
| 微波頻率 | 2.45GHZ±50MHz | ||
| 加熱方式 | 純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱 | ||
| 功率/KW | 4 (功率可調(diào)) | ||
| 溫度測(cè)試元件 | 微波場(chǎng)專用傳感器 | ||
| 控溫精度/℃ | ±2 | ||
| 加熱管材質(zhì) | 石英管 | 高溫合金管 | 剛玉管 |
| 加熱溫度/℃ | 1200℃ | 1200℃ | 1600℃ |
| 管徑(外徑/內(nèi)經(jīng)X長(zhǎng)度)/mm | ∅45/∅35×1200，可選配，外徑∅60mm | ||
| 加熱速度 | ≤200 | 升溫速率不限 | ≤50 |
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 標(biāo)配恒溫區(qū)長(zhǎng)度100mm，恒溫去長(zhǎng)度100mm～1000mm以上可選 | ||
| 溫區(qū) | 可多溫區(qū)同時(shí)加熱 | ||
| 氣路法蘭 | 不銹鋼法蘭 | ||
| 質(zhì)量流量控制 | 美國(guó)Alicat質(zhì)量流量&控制器、七星華創(chuàng)質(zhì)量流量&控制器 氣柜、氣路及各類閥門，可配套計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制系統(tǒng)及軟件 | ||
| 氣路數(shù)量 | 2路或3路（或多路） | ||
| 流量范圍 | 0-1SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)定 | ||
| 精度 | ±0.2%F.S | ||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤1sec | ||
| 工作壓力 | 進(jìn)氣壓力0.05-0.35Mpa(表壓力），流量規(guī)格≤10SLM | ||
| 系統(tǒng)連接方式 | 采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x | ||
| 規(guī)格 | 高真空 | ||
| 系統(tǒng)真空范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓～10-3Pa | ||
| 真空泵 | 簡(jiǎn)單機(jī)械泵抽真空和不銹鋼法蘭 10-1Pa真空用高檔機(jī)械泵及真空計(jì) 10-2Pa真空用高檔機(jī)械泵、擴(kuò)散泵及真空計(jì) 10-3Pa真空用高檔機(jī)械泵、分子泵及真空計(jì) | ||
| 爐腔尺寸/mm | 700X350X530 | ||
| 加熱腔(標(biāo)配) | 0.5-3L 2個(gè)根據(jù)管徑、加熱區(qū)長(zhǎng)度、加熱溫區(qū)數(shù)量確定 | ||
| 加熱腔大小 | 0.94L，2.12L，3.8L | ||
| 升溫速率(標(biāo)配) | 0～1000℃/min可根據(jù)實(shí)際任意設(shè)定，可編程、分段加熱 | ||
| 外型尺寸/mm | 1500´750´1560 | ||
| 微波泄漏/ mW/㎝ | ≤0.4 | ||
| 提供相關(guān)配件 | 防護(hù)手套×1、中文說明書×1 | ||
| 保質(zhì)期 | 整機(jī)免費(fèi)保修1年 | ||
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