詳細介紹
普發(fā)分子泵 HiPace 1200-2300系列渦輪分子泵可以倒裝安裝,經(jīng)過實踐證明的軸承技術(shù)確保了其的可靠性。成熟的轉(zhuǎn)子設(shè)計使其具有更出色的抽速,更好的前級泵兼容性和更大的氣流量,對于小分子氣體具有更高的壓縮比。集成可靠的智能傳感器系統(tǒng),HiPace系統(tǒng)當仁不讓的成為市場上安全性能非常好的產(chǎn)品。
普發(fā)分子泵 產(chǎn)品優(yōu)勢:
從1000-2000L/S提供四個抽速等級
對于小分子量氣體(H2 He),和大分子量氣體(Ar、CF4)都有很高的抽速
即便對大分子量氣體(Ar,CF4)也有很高的氣流量
安裝角度可選0°-90°和90°-180°
有抗腐蝕性氣體型號可選(C型號)
帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)
電壓范圍:90-265V
界面接口:RS-485,遠程控制;Profibus和DeviceNet可選
獲得SEMI S2,UL,CSA和TUV認證
防護等級IP54符合工業(yè)環(huán)境應用要求
可能的符合各種工藝流程,能夠忍受顆粒物
普發(fā)分子泵應用領(lǐng)域:
半導體
真空爐
質(zhì)樸分析
鍍膜、研發(fā)
工業(yè)檢漏
普發(fā)分子泵 系列型號:
HiPace 1200
HiPace 1500
HiPace 1800
HiPace 2300