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詳細介紹
系統(tǒng)依據(jù)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn):
GB/T 26250-2010 電子工業(yè)用氣休
GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。該產(chǎn)品以GC-126氣相色譜儀為載體，配備VALCO公司生產(chǎn)的氦離子化（PDHID）檢測器；采用克柔姆公司擁有專業(yè)技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù)，其中的所有進樣和切換閥均為VALCO公司生產(chǎn)的帶吹掃保護氣路的六通或十通閥；上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析解決方案。
高純氣體的分析是一個復(fù)雜的過程，不僅需要高靈敏的檢測器，還要考慮樣品本身的特性及其背景，如吸附、取樣及分析過程中是否有空氣混入、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié)，克柔姆色譜公司總結(jié)了高純氣體分析過程中的技術(shù)難點，并給出了所有難點的解決措施，使GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀成為工業(yè)氣體行業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng)，很好的完成了氣體中微量雜質(zhì)，特別是ppb級的雜質(zhì)的分析。
Items/檢測項目一： N 2 ≤ 0.20ppm， O 2≤ 0.02 ppm ， Ar≤ 0.02 ppmv ，SiH 4≤ 0.02ppmv;
CO2≤ 0.02ppmv CO≤ 0.03ppmv ，H2S ≤ 0.0 3 ppmv ， C1～C2≤ 0.0 5 ppmv ，
GeH4(鍺烷)、 SiH4(硅烷)、 PH3(磷烷)、H2S
進樣與反吹系統(tǒng): 吹掃十通閥2只; 吹掃六通閥3只;
閥體選:采用VICI 316L不銹鋼材質(zhì)； 氣路管線: 1/16或1/8采用VICI 316L材質(zhì)
儀器主要應(yīng)用于6N砷烷氣體中微量雜質(zhì)的分析，具體內(nèi)容詳見下表：
| 氣體種類 | 需分析特氣的雜質(zhì)種類 | |||||||
| He | H2 | O2/Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | H2S | C2、SiH4、 PH3、GeH4、Ge2H6、C3、C4 |
| 儀器的最小 檢測限（PPb） | 5 | 5 | 5 | 5 | 15 | 5 | 20-30 | 5-10 |
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