1000℃三溫區(qū)CVD管式爐（管徑40mm）(連續(xù)粉末進(jìn)料&反應(yīng)系統(tǒng)）OTF-1200X-40-R-III

名稱

1000℃三溫區(qū)CVD管式爐（管徑40mm）(連續(xù)粉末進(jìn)料&反應(yīng)系統(tǒng)）OTF-1200X-40-R-III

爐體

輸入電源：AC 208-240V,50/60Hz，單相，5KW。

加熱區(qū)：三溫區(qū)152+304+152（mm），總長(zhǎng)度~600mm。

恒溫區(qū);480mm（±2℃，3個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度）。

工作溫度：1000℃（此溫度有螺桿傳輸材質(zhì)決定，爐體溫度可達(dá)1200℃）。

溫控系統(tǒng)：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度±1℃。

爐管：石英管：40（外徑）×36（外徑）×1219 L mm。

自動(dòng)粉料進(jìn)料系統(tǒng)

一個(gè)小型自動(dòng)進(jìn)料裝置安裝在管式爐上，帶有真空密封（可在氣氛保護(hù)環(huán)境下自動(dòng)進(jìn)粉料）

進(jìn)料速率可調(diào)節(jié)：10-97cm∧3/min

螺桿型粉料傳輸裝置

螺桿型粉料傳輸裝置嵌入在石英管內(nèi)，真空密封。

采用高溫合金鋼制作，溫度可耐到。

采用直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)，可調(diào)節(jié)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10rpm（可根據(jù)客戶要求定制）。

石英管內(nèi)徑36mm，螺桿直徑35mm。

收集裝置

安裝有粉料收集罐，采用KF25快速連接法蘭。

罐體容積500ml（可根據(jù)客戶要求定制）

爐管內(nèi)真空度

4.5×10-2torr

功率

爐體功率：5KW

進(jìn)料器功率：200W

電壓

AC 208-240V 單相 50/60Hz

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈）

爐體質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

電器元件（輸入電壓≥24V）都通過NRTL(UL61010)/CSA ren認(rèn)證

設(shè)備尺寸

2140 L×700 W×1530 H mm

混氣系統(tǒng)（可選）

可選購多通道混氣系統(tǒng)，可采用CVD法對(duì)粉體材料進(jìn)行復(fù)合和包覆

遠(yuǎn)程操作

可選購采用電腦來遠(yuǎn)程操作設(shè)備，采用Windouw10系統(tǒng)，Labview軟件?？刂品秶鸀?/span>300m

警告

爐管只適合于在真空或低壓環(huán)境下使用。爐管內(nèi)氣壓必須<0.02MPa

氣瓶上必須安裝其雙極減壓閥

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