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質(zhì)量流量控制器-ZF-MFC-1C

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  • 型號 ZF-MFC-1C
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 重慶市

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更新時間:2024-06-07 08:15:47瀏覽次數(shù):102

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產(chǎn)品簡介

ZF-MFC-1C是一款防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器,結(jié)構(gòu)小巧,操作方便,可用于氣體流量的精確測量和控制,流量范圍0~100,200,300,500SCCM可選,可與本公司管式爐、CVD系統(tǒng)、熔煉鑄造爐、鍍膜設(shè)備等配套使用,直接數(shù)字設(shè)定流量,穩(wěn)定可靠,操作方便

詳細(xì)介紹

ZF-MFC-1C是一款防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器,結(jié)構(gòu)小巧,操作方便,可用于氣體流量的精確測量和控制,流量范圍0~100,200,300,500SCCM可選,可與本公司管式爐、CVD系統(tǒng)、熔煉鑄造爐、鍍膜設(shè)備等配套使用,直接數(shù)字設(shè)定流量,穩(wěn)定可靠,操作方便。


技術(shù)參數(shù)


產(chǎn)品名稱

質(zhì)量流量控制器-ZF-MFC-1C

產(chǎn)品特點

防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器,結(jié)構(gòu)小巧。

DC15V電壓驅(qū)動。

流量數(shù)顯設(shè)定顯示,穩(wěn)定可靠,操作方便。

流量范圍:0~100,200,300,500 SCCM可選。

配備RS485計算機(jī)接口,同時可輸出4~20mA信號,用于計算機(jī)與遠(yuǎn)程儀表的連接控制。

標(biāo)配N2氣標(biāo)定。

工作電源

AC 220V,50/60Hz7.5W

配備 AC 220V轉(zhuǎn)DC15V電源適配器。

流量范圍

0~100,200,300,500 SCCM四種規(guī)格可選,特殊規(guī)格可定制

材質(zhì)

316不銹鋼閥體,耐腐蝕

準(zhǔn)確度

±2%FS

控制精度

±1%FS(恒流)

線性

±2%FS

工作壓力差范圍

0.1~0.5MPa

工作壓力

0.5MPa

設(shè)定流量方式

鍵入式

進(jìn)出口閥門

Φ6.35mm 卡套式接頭


工作環(huán)境溫度

-10~50

產(chǎn)品尺寸

168 L×30 W×132H mm

產(chǎn)品重量

0.92Kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護(hù)。

使用注意事項

ZF-MFC-1C可用于腐蝕性氣體的流量測量與控制,如NH3等。

出廠時采用氮氣(N2)標(biāo)定,如通入其他氣體時,需要對照說明書中不同氣體流量轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行流量換算。

注意工作差,使用時進(jìn)出氣兩端工作壓力差在0.15~0.5MPa范圍內(nèi)。


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