高通量掃描電鏡系統(tǒng)High Throughput SEM

高通量掃描電鏡系統(tǒng)（High Throughput SEM），

NavigatorTM系列是高通量電鏡技術(shù)在材料表面分析、神經(jīng)生物學(xué)領(lǐng)域的一項(xiàng)全新的應(yīng)用。與傳統(tǒng)SEM不同的是，NavigatorTM針對(duì)大面積SEM分析的特定應(yīng)用而全新設(shè)計(jì)的高通量電子光學(xué)成像系統(tǒng)，重點(diǎn)優(yōu)化低落點(diǎn)能量下BSE的成像速率，同時(shí)保證SE的接收效率為95%以上，使SE和BSE的成像速率達(dá)到傳統(tǒng)SEM的10倍左右，搭配聚焦跟蹤系統(tǒng)和光學(xué)導(dǎo)航等輔助模塊，綜合成像速率是傳 統(tǒng)SEM的30倍以上。以半導(dǎo)體晶圓分析為例，以4nm像素大小掃描300umX300um區(qū)域內(nèi)的晶圓刻線，傳統(tǒng)電鏡需要至少38分鐘完成相同工作，而高通 量?jī)H需0.9分鐘即可完成自動(dòng)圖像采集，并生成Google Map式全景樣品地圖。您僅需推動(dòng)鼠標(biāo)滾輪，一切信息便展現(xiàn)在屏幕上，并可以對(duì)感興趣的 位置進(jìn)行標(biāo)注。您也可以使用手動(dòng)模式，實(shí)時(shí)地快速翻看樣品免去不必要的光學(xué)參數(shù)調(diào)整。業(yè)界首-創(chuàng)的索引式查看功能使用戶無(wú)需再繁瑣地操作電 鏡而可以專(zhuān)注于搜尋樣品本身的信息。

高通量掃描電鏡系統(tǒng)High Throughput SEM該系統(tǒng)在設(shè)計(jì)中具備如下特點(diǎn)：

1. 國(guó)際首-創(chuàng)并擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高效電子收集和成像系統(tǒng)，采用同軸電子直接探測(cè)技術(shù)和高速FPGA采集模塊，使該系統(tǒng)在世界上實(shí)現(xiàn)低加速電壓（1kV）下100M/s級(jí)二次電子（Secondary Electron）和背散射電子（Backscatter Electron）的超高速同步成像！該系統(tǒng)具備非比尋常的視頻級(jí)（120fps@512X512）納米尺度分析能力，使掃描電鏡從傳統(tǒng)意義的納米“照相機(jī)”變成納米“攝像機(jī)”。

2. 針對(duì)于低加速電壓、大視野下分辨率而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的電子光學(xué)鏡筒光路，采用浸沒(méi)搖擺電磁復(fù)合透鏡設(shè)計(jì)，使其在1kV加速電壓下即可獲得1.8nm、3kV下可獲得1.5nm的高分辨率能力，且具備高分辨率視場(chǎng)的區(qū)域較傳統(tǒng)掃描電鏡大4倍以上，而且保持高線性度（1‰的計(jì)量級(jí)）。

3. 該系統(tǒng)高度的智能化結(jié)合超高速成像能力（4TB/天），使之具備了跨尺度信息融合能力。它可以全自動(dòng)的超大區(qū)域（100mmX100mm）全息地圖集式成像模式，可以在同時(shí)保持高分辨率情況下對(duì)樣品進(jìn)行全自動(dòng)的無(wú)遺漏信息采集，并繪制成Google地圖式全景信息瀏覽。結(jié)合人工智能（A.I.）算法，可以對(duì)工程級(jí)材料進(jìn)行整體納米晶粒分布統(tǒng)計(jì)、各類(lèi)缺陷的標(biāo)記與歸類(lèi)、成分分布等電鏡微區(qū)分析。并且標(biāo)配的真空預(yù)抽室和伸縮臂機(jī)構(gòu)，使之具備真正意義上的“一鍵全自動(dòng)換樣”。

4. 完備的二次開(kāi)發(fā)接口，為全-方位地滿足客戶定制需求，提高掃描電鏡的圖像采集效率，發(fā)揮電鏡高通量性能，（Navigator100）高通量電鏡供完備的二次開(kāi)發(fā)接口，以供客戶定制個(gè)性化的圖像采集流程。

        高通量掃描電鏡系統(tǒng)High Throughput SEM除了生物領(lǐng)域，（Navigator100）系列的在材料科學(xué)、工業(yè)應(yīng)用等方面也有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。得益于其硬件系統(tǒng)高通量的設(shè)計(jì)和軟件系統(tǒng)陣列式掃描支持，（Navigator100）特別適用于對(duì)樣品進(jìn)行大面積地圖集式圖像采集，采集的結(jié)果是一個(gè)類(lèi)似Google地圖的數(shù)T大小的圖像數(shù)據(jù)包。高通量掃描電鏡系統(tǒng)High Throughput SEM