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詳細介紹
一、產(chǎn)品介紹
1、適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
2、采用聲光報警。
二、產(chǎn)品參數(shù)
1、適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
2、采用聲光報警。
二、產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | XP-703D |
| 檢測對象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙朋烷、硅烷、氫氣等） |
| 檢測原理 | 熱線型半導(dǎo)體式 |
| 采樣方式 | 自動吸引式 |
| 可檢測濃度 （單位：ppm） | 砷烷磷烷乙朋烷硅烷氫氣 AsH3PH3B2H6SiH4H2 0.20.30.10.51.0 |
| 檢測表示 | 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
| 應(yīng)答速度 | 10秒以內(nèi) |
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