探針型半導(dǎo)體制冷熱臺(tái) RTL100/B-TZ

溫度范圍： -15℃~100 ℃；

觀察光孔： φ2.5 mm

加 熱 體：承樣平臺(tái)

窗口至樣品距離：4.5 mm

探 針 數(shù)：2~4個(gè)，BNC 或SMA 或LEMO 或2mm接口

升降溫速率： 0~30 ℃/min

測(cè)    溫： 熱電阻；

溫度顯示與穩(wěn)定度： 0.1 ℃

溫度控制：PID人工智能控制，30段程序（or 100段程序）

溫控軟件：中英文界面切換，實(shí)時(shí)操控，多點(diǎn)溫度校正、可設(shè)置溫速、控溫區(qū)間等，工藝曲線顯示與記錄

實(shí)驗(yàn)環(huán)境：腔體密閉，可通氣氛

整套配置：冷熱臺(tái)、循環(huán)冷卻泵，熱臺(tái)溫度控制儀，溫度控制軟件等