詳細(xì)介紹
MX61A是一款專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體顯微鏡,大尺寸檢查顯微鏡,全自動(dòng)顯微鏡,MX61A顯微鏡可使操作人員以正確的人體工程學(xué)姿勢(shì)進(jìn)行操作,有利于操作人員在長(zhǎng)時(shí)間的工作中順利進(jìn)行檢測(cè),保證了工作的效率和產(chǎn)品一體化。
始終提供觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)
提供擴(kuò)展性的解決方案
實(shí)現(xiàn)對(duì)人和環(huán)境都沒(méi)有危害的自動(dòng)化
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件
全自動(dòng)半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61A 規(guī)格 | |||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正) | ||
機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射 | ||
照明裝置 | 機(jī)身一體型(明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)+1選件) | ||
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | - | ||
對(duì)焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 電動(dòng) | |
行程 | 25.4 mm | ||
分辨率/微調(diào)靈敏度 | 分辨率0.01 μm | ||
樣本高度 | 24 mm | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場(chǎng)微分干涉6孔 | |
明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 | |||
明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 | |||
明暗視場(chǎng)微分干涉中心補(bǔ)正5孔 | |||
手動(dòng)式 | - | ||
載物臺(tái) | 行程 | 14×12英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm | |
觀察筒 | 廣角視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)22) | 倒置 | - |
正像 | - | ||
超寬視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)26.5) | 倒置 | - | |
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
附件單元 | 自動(dòng)調(diào)焦/DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載 | ||
外形尺寸 | 711(W)×853(D)×552(H)mm(標(biāo)準(zhǔn)組合) | ||
重量 | 56 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) |