當入射的X射線不入射時會發(fā)生散射產生熒光，但與“碰撞"樣品的原子導致

粒子運動方向的變化。在康普頓散射中，X射線撞擊電子的樣本。由于一些能量被轉移到電子中碰撞時，X射線以較少的能量離開碰撞。這就是為什么我們看到康普頓峰的能量更低

比源激發(fā)能大。在瑞利散射中，電磁輻射被分散半徑小于約1/10的粒子輻射的波長。

在瑞利散射過程中，光子被緊密結合的電子散射，其中原子既不被離子化也不被激發(fā)。入射光子被（基本上）散射不變的能量。瑞利散射主要發(fā)生在低能量和高原子重量的情況下。