濕氧恒溫柜高溫工藝解決方案

濕氧恒溫柜高溫工藝解決方案

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在使用設(shè)備之前，請詳細閱讀使用手冊，并特別注意其中注意事項的內(nèi)容。

只有在使用、維護過程中嚴格遵照制造商的建議，才能使設(shè)備的性能達到設(shè)計的水準。

嚴禁非專業(yè)人員在設(shè)備正常使用時非法進行各類操作。

除非另有約定，本文檔僅作為使用指導(dǎo)，所有陳述、信息和建議不構(gòu)成任何明示或暗示的擔保。

目錄

一、設(shè)備簡介

1.1 型號含義............................................................1

1.2 柜體結(jié)構(gòu)圖..........................................................1

1.3 主要功能 2

1.3.1 為機臺做工藝提供濕氧........ 2

1.3.2 源瓶加熱與恒溫.................................................2

1.3.3 源管道伴熱與恒溫................................................2

1.3.4 源瓶液位監(jiān)測....................................................2

1.3.5 源瓶壓力監(jiān)測及保護..............................................2

1.3.6 源瓶定時換水....................................................3

1.3.7 源瓶漏水監(jiān)測....................................................3

1.3.8 超純水水質(zhì)檢測..................................................3

1.3.9 超純水缺乏監(jiān)測..................................................3

1.3.10 廢水收集與外排.................................................3

1.3.11 異常、故障報警..................................................3

1.3.12 與機臺信號對接.................................................4

1.4 使用環(huán)境 5

1.5 技術(shù)參數(shù) 5

1.6 應(yīng)用配置 6

二、二次配安裝 6

2.1 電源..................................................................6

2.2 空壓氣 6

2.3 氮氣 6

2.4 超純水 6

2.5 排廢水................................................................6

2.6 信號對接...........................................................6

三、系統(tǒng)畫面 7

3.1 首頁 7

3.2 控制界面 8

3.3 參數(shù)設(shè)置 9

3.4 報警記錄 10

3.5 換水記錄 11

四、設(shè)備操作 12

4.1 狀態(tài)指示 12

4.2 開機操作 12

4.3 手動控制 12

4.4 停機操作 12

五、故障報警 13

六、注意事項 14

6.1 設(shè)備操作.............................................................14

6.2 參數(shù)設(shè)定 14

6.3 水位調(diào)節(jié) 14

6.4 開門作業(yè) 14

七、應(yīng)急處理 15

7.1 人體燙傷 15

7.2 源瓶爆裂 15

八、日常巡檢與檢修保養(yǎng) 15

8.1 日常巡檢 15

8.2 檢修保養(yǎng).............................................................15

一、設(shè)備簡介

1.1 型號含義

濕氧恒溫柜高溫工藝解決方案

型號：FHWG-JWG6P

含義：F福雪萊；HWG恒溫柜；JW加溫；G光電檢測液位；6P六個源瓶槽位

1.2 柜體結(jié)構(gòu)圖

1.3 主要功能

1.3.1 為機臺做工藝提供濕氧（濕氧工藝）

說明：

1、裝有一定量超純水的源瓶水溫加熱到設(shè)定溫度并恒溫后，爐管方可做工藝；

2、工藝用氧氣先通入瓶內(nèi)水底鼓泡后再進入爐管反應(yīng)室。（如下圖）

1.3.2 源瓶加熱與恒溫

說明：

1、由PLC、溫控器、溫度探頭、固態(tài)繼電器、發(fā)熱組件、源瓶液位計等完成控制；

2、源瓶開關(guān)打開后(即自動運行)，如瓶內(nèi)水量達到低液位則加熱直到設(shè)定溫度并恒溫；

3、加熱異常、恒溫異常、溫度探頭異常、溫度異常均報警輸出。

1.3.3 源管道伴熱與恒溫

說明：

1、由PLC、溫控器、溫度探頭、固態(tài)繼電器、伴熱帶等完成控制；

2、源瓶開關(guān)打開后(即自動運行)，如瓶內(nèi)水量達到低液位則加熱直到設(shè)定溫度并恒溫；

3、加熱異常、恒溫異常、溫度探頭異常、溫度異常均報警輸出。

1.3.4 源瓶液位監(jiān)測

說明：

1、每個源瓶均安裝有高、低光電液位計（位置可調(diào)）；

2、正常使用時液位為低液位至高液位之間；

3、液位低于低液位為異常并報警輸出。

1.3.5 源瓶壓力監(jiān)測及保護

說明：

1、每個源瓶均安裝有泄壓閥及壓力傳感器；

2、當源瓶內(nèi)壓力≥設(shè)定壓力時，自動打開泄壓閥泄壓；

3、當源瓶內(nèi)壓力持續(xù)≥設(shè)定壓力時，壓力異常報警輸出。

1.3.6 源瓶定時換水

說明：

1、每個源瓶內(nèi)的水都可以通過設(shè)定時間周期性換水；

2、換水時需要滿足條件：自動運行+定時時間已到+工藝剛結(jié)束；

3、換水時需要先將瓶內(nèi)原水排干，利用氮氣加快地排水及吹掃；

4、源瓶排水的同時打開超純水過水閥進行水質(zhì)檢測；

5、每次換完水自動重新計時；

6、水質(zhì)檢測合格后，方可往源瓶灌水。

1.3.7 源瓶漏水監(jiān)測

說明：

1、柜內(nèi)源瓶分兩層放置，每層3個，每層一個接水盤，上下接水盤串接后引管到蓄水池；

2、接水盤管道上安裝非接觸式液位計；

3、當源瓶漏水或爆裂時，水會流到接水盤順著管道流到蓄水池，液位計感應(yīng)到信號后發(fā)出報警。

1.3.8 超純水水質(zhì)檢測

說明：

1、源瓶每次灌水時（包括手動操作）都需要xian進行水質(zhì)檢測，合格之后才可以往源瓶內(nèi)灌水；

2、水質(zhì)檢測可以自動也可以手動，每過水5min后檢測一次，如合格則不再進行過水檢測；

3、如水質(zhì)連續(xù)三次檢測不合格，發(fā)出水質(zhì)異常報警，需要人工確認復(fù)位。

1.3.9 超純水缺乏監(jiān)測

說明：

1、超純水管道進入柜內(nèi)后分兩路走：一路去到源瓶的補水閥（源瓶灌水）；一路經(jīng)過水閥后接到蓄水池（水質(zhì)檢測過水）；

2、過水閥前面管道上安裝非接觸式液位計；

3、當超純水缺乏時，液位計感應(yīng)到信號后發(fā)出報警。

1.3.10 廢水收集與外排

說明：

1、源瓶換水時原水排放需要容器收容（蓄水池）；

2、超純水水質(zhì)檢測每次過水5min，需要容器收容（蓄水池）；

3、蓄水池上安裝電極式液位計及排水泵；

4、當蓄水池液位上升到高液位時啟動排水泵外排廢水，排水泵也可以手動控制；

1.3.11 異常、故障報警

說明：

1、當設(shè)備發(fā)生任何異?；蚬收蠒r均發(fā)出報警；

2、報警的方式：a、蜂鳴器；b、顯示屏；c、傳上位機；

1.3.12 與機臺信號對接

說明：

1、1～6#管工藝狀態(tài)信號，繼電器常開觸點，用于判斷是否在工藝；

2、1～6#管不工藝狀態(tài)信號，繼電器常開觸點，用于判斷工藝是否結(jié)束；

3、1～6#源瓶換水請求信號，繼電器常開觸點，直到換水完成，用于告知機臺源瓶在換水；

4、水質(zhì)合格信號，繼電器常開觸點，直到換水完成，用于告知機臺此次換水水質(zhì)檢測合格；

5、1～6#源瓶恒溫就緒信號，繼電器常開觸點，用于告知機臺換水完成且加熱恒溫可以開始做工藝；

6、1～6#源瓶溫度異常信號，繼電器常閉觸點，用于告知機臺該源瓶溫度波動異常；

7、1～6#源瓶高液位信號，繼電器常閉觸點，用于告知機臺該源瓶出現(xiàn)高液位；

8、1～6#源瓶低液位信號，繼電器常閉觸點，用于告知機臺該源瓶出現(xiàn)低液位；

9、源瓶漏水信號，繼電器常閉觸點，用于告知機臺柜內(nèi)有源瓶漏水；

1.4 使用環(huán)境

1、地面平整，通風良好；

2、周圍無強烈振動；

3、周圍無強電磁場影響；

4、周圍無易燃、易爆、腐蝕性物質(zhì)和粉塵；

5、周圍留有足夠的使用及維護空間；

6、環(huán)境溫度：10℃～45℃；

7、環(huán)境濕度：≤80%RH。

1.5 技術(shù)參數(shù)

1.6 應(yīng)用配置

二、二次配安裝

2.1 電源：三相交流380V、50Hz、約3.5KW；

2.2 空壓氣：6-8公斤壓力；

2.3 氮氣：2-3公斤壓力；

2.4 超純水進水管：4/1鐵氟龍管；

2.5 蓄水池排水管：內(nèi)徑8MM軟管；

2.6 信號對接。

三、系統(tǒng)畫面

3.1 首頁

? 用戶登錄：點擊登錄現(xiàn)有用戶賬號，屏幕右上角顯示當前登錄“用戶名"；系統(tǒng)出廠自帶用戶賬號有（管理員、工程師、操作員），均無密碼選好用戶點擊登錄即可，用戶可根據(jù)需要自行創(chuàng)建密碼以及登錄注銷時間。

? 注意: 設(shè)備使用及操作應(yīng)使用賬號權(quán)限分配并做好管理，“管理員"賬號擁有zui高權(quán)限應(yīng)由設(shè)備負責人掌管；自行創(chuàng)建的賬號密碼要記得，否則后續(xù)將無法登錄該賬號。

? 用戶注銷：點擊注銷當前登錄的用戶賬號，屏幕右上角顯示當前登錄“無用戶"。

? 用戶編輯：點擊修改、增加、刪除用戶賬號信息，操作前需要先登錄“管理員"賬號（擁有zui高權(quán)限），不能刪除“管理員"賬號。

? 控制界面：點擊進入控制界面畫面。

? 參數(shù)設(shè)置：點擊進入?yún)?shù)設(shè)置畫面。

? 報警記錄：點擊進入報警記錄畫面。

? 換水記錄：點擊進入換水記錄畫面。

? 所有子畫面屏保時間內(nèi)（預(yù)設(shè)3min，可在參數(shù)畫面修改）持續(xù)無操作均會退出返回到首頁畫面，然后息屏。

3.2 控制界面

? 源瓶溫度：顯示當前源瓶溫度值。

? 伴熱溫度：顯示當前源管道伴熱溫度值。

? 瓶內(nèi)壓力：顯示當前源瓶內(nèi)壓力值。

? 換水計時：顯示源瓶到達下一次換水的剩余時間。

? 蜂鳴器：在設(shè)備有故障報警且短時間內(nèi)無法處理平息情況下可以點擊圖標進行關(guān)閉止鬧，正常運行中請打開，能夠及時發(fā)現(xiàn)設(shè)備故障。

? 照明：某些情況下照明自動打開，可點擊圖標手動開/關(guān)操作。

? 閥門開關(guān)：源瓶不使用狀態(tài)下可點擊圖標手動開/關(guān)操作。

? 源瓶開關(guān)：點擊源瓶圖標可切換源瓶使用狀態(tài)，顯示禁用圖標為不使用狀態(tài)，不顯示禁用圖標為使用狀態(tài)；使用狀態(tài)（即自動運行狀態(tài)）可以正常加熱、恒溫、自動換水及顯示相關(guān)報警等；不使用狀態(tài)則相反。

? 蓄水池圖標：蓄水池變成綠色為蓄水池滿水狀態(tài)，會自動排水，如長時間為綠色請檢查相關(guān)故障；排水泵可點擊圖標手動啟/停操作。

? 源瓶高低水位：源瓶的高、低液位檢測（阻擋時動作），源瓶兩側(cè)會顯示相應(yīng)標識以及源瓶變綠色。

? 過水時間、次數(shù)、電導(dǎo)率、水質(zhì)結(jié)果：顯示水質(zhì)檢測過程。

? 4～6管：切換到4～6管源瓶的控制界面。

? 異常確認：當水質(zhì)檢測連續(xù)三次不合格時，會報水質(zhì)異常，需要人工確認復(fù)位。

? 返回首頁：點擊返回首頁。

3.3 參數(shù)設(shè)置

? 加熱溫度偏差設(shè)定：設(shè)定源瓶恒溫后溫度波動報警偏差值。

? 伴熱溫度偏差設(shè)定：設(shè)定伴熱帶恒溫后溫度波動報警偏差值。

? 源瓶1～6加熱設(shè)定溫度：黑色框為設(shè)定恒溫溫度，紅色框為顯示是否設(shè)定成功。

? 管道1～6伴熱設(shè)定溫度：黑色框為設(shè)定恒溫溫度，紅色框為顯示是否設(shè)定成功。

? 統(tǒng)一第yi組設(shè)定：設(shè)定好第yi組源瓶溫度值（加熱與伴熱），然后點擊此按鍵，再點擊“寫入并保存"（稍微按長點）就可以統(tǒng)一設(shè)定1～6源瓶和伴熱帶恒溫溫度值。

? 源瓶泄壓設(shè)定：設(shè)定源瓶壓力泄壓值，當瓶內(nèi)壓力≥泄壓值自動泄壓。

? 合格電導(dǎo)率設(shè)定：設(shè)定水質(zhì)檢測合格的電導(dǎo)率值，≤設(shè)定值為合格，方可往源瓶灌水。

? 換水超時時間設(shè)定：設(shè)定源瓶換水時間，超過換水時間會報警提示，應(yīng)檢查原因。

? 出現(xiàn)低液位繼續(xù)排水時間設(shè)定：源瓶排原水的過程中，以出現(xiàn)低液位為節(jié)點估算多久排完，以停止排水動作。

? 源瓶換水周期設(shè)定：設(shè)定源瓶的換水周期時間；計時時間到：如此時爐管在工藝，則等工藝一結(jié)束就開始自動換水；如不在工藝狀態(tài)那就等下次工藝結(jié)束再自動換水；每次換完水自動重新計時。

? 源瓶1～6計時開始：顯示源瓶1～6換水結(jié)束后的日期時間。

? 重新計時：按下重新計時。

? 寫入并保存：寫入并保存當前的設(shè)定數(shù)值，需要稍微長按。

? 返回首頁：點擊返回首頁。

3.4報警記錄

? 報警記錄：可以查看過去發(fā)生的報警事件，下方有記錄總條數(shù)。

? 表格控件：點擊可使表格內(nèi)容上下移動和刷新記錄便于查看。

? 返回首頁：點擊返回首頁。

3.5 換水記錄

? 換水記錄：可以查看當下或過去發(fā)生的換水事情動作過程。

? 表格控件：點擊可使表格內(nèi)容上下移動和刷新記錄便于查看。

? 返回首頁：點擊返回首頁。

四、設(shè)備操作

4.1 狀態(tài)指示

1、綠燈常亮：1～6源瓶開關(guān)任何開啟且設(shè)備無gu障報警；

2、黃燈閃亮：源瓶自動換水時的灌水過程且無gu障報警；

3、黃燈常亮：源瓶自動換水時的排水過程且無gu障報警；

4、紅燈常亮：設(shè)備停止狀態(tài)且無gu障報警；

5、紅燈閃亮 + 蜂鳴器：故障報警狀態(tài)。

4.2 開機操作

1、檢查電源配線、接線是否正確及電源電壓是否正常（第yi次上電）；

2、合上柜內(nèi)電源總空開、排水泵開關(guān)、控制回路開關(guān)以及選擇各路源瓶開關(guān) ；

3、合上柜子操作面板上的電源開關(guān) ；

4、進入?yún)?shù)設(shè)置畫面設(shè)置好各項參數(shù)（第yi次使用需要設(shè)置，參數(shù)具有斷電保持功能）；

5、水質(zhì)檢測合格后給源瓶灌水，灌到高液位停止，最終液位可以通過補水閥和排水閥來調(diào)整（第yi次建議手動灌水，因為自動灌水涉及到的條件多且邏輯復(fù)雜）；操作如下圖：

6、進入控制界面選擇使用哪個源瓶（未使用顯示禁用圖標，使用后禁用圖標消失）；

7、源瓶使用后（即自動運行），會加熱與恒溫、有異常時會報警、后續(xù)會按設(shè)定的換水周期自動換水；

8、緊急情況誒需要請按急停開關(guān)（停止所有源瓶使用及控制輸出）。

4.3 手動控制

1、每個閥門都可以通過點擊圖標開/關(guān)控制：提前條件是對應(yīng)的源瓶處于停止狀態(tài)以及符合操作權(quán)限等級；

2、蜂鳴器、照明、蓄水池排水泵可以隨時點擊圖標手動操作。

4.4 停機操作

1、關(guān)閉各個源瓶開關(guān)（顯示禁用圖標） ；

2、斷開柜子操作面板上的電源開關(guān)（短時停機） ；

3、斷開柜子操作面板上的電源開關(guān)以及柜內(nèi)所有開關(guān)（長時停機）。

五、故障報警

提示：遇到無法解決的問題時請聯(lián)系設(shè)備廠家！

六、 注意事項

6.1 設(shè)備操作

1、人員未經(jīng)培訓，不得操作設(shè)備；

2、非專業(yè)人員，不得操作設(shè)備電氣部分；

3、上電開機前應(yīng)該檢查設(shè)備是否具備條件（如在檢修中，不能操作）；

4、第yi次上電，先檢查電源接線、電壓是否正常，否則可能造成設(shè)備嚴重損壞；

5、除了可操作的部位，其它地方不可觸碰，避免觸電或其它危險。

6.2 參數(shù)設(shè)定

1、參數(shù)具有斷電保存功能，無需每次開機都要設(shè)置，除了需要修改；

2、參數(shù)設(shè)置要合理，不能過大或過??；如源瓶泄壓壓力，過大起不到保護作用會爆瓶，過小又不合理，會影響工藝。

6.3 水位調(diào)節(jié)

1、源瓶具有高低液位兩組探頭；

2、調(diào)節(jié)過程中，位置不能相反；

3、高低液位調(diào)節(jié)合理，否則可能會影響工藝。

6.4 開門作業(yè)

1、柜內(nèi)有源瓶加熱系統(tǒng)溫度較高（或高于70℃）；

2、開門作業(yè)時需要做好防護防止人體被高溫燙傷。

七、應(yīng)急處理

7.1 人體燙傷

1、車間里面應(yīng)該配有急求箱；

2、及時對燙傷部位進行降溫消毒處理，然后上藥包扎好；

3、嚴重者應(yīng)該到醫(yī)院進一步檢查和治療。

7.2 源瓶爆裂

1、停止工藝；

2、關(guān)閉該路電源開關(guān)；

3、關(guān)閉源瓶開關(guān)（停止自動）；

4、做好防護，然后開門更換源瓶；

5、換好源瓶重新灌水、加熱到恒溫；

6、檢查整體沒問題后重新做工藝。

八、日常巡檢與檢修保養(yǎng)

8.1 日常巡檢

1、看：觀察設(shè)備整體是否有異樣（如漏水、冒煙等），特別是報j燈；

2、聽：設(shè)備是否有異常聲音（如漏氣、水流等），特別是報警蜂鳴器；

3、如有異常故障，及時發(fā)現(xiàn)和處理。

8.2 檢修保養(yǎng)

1、設(shè)備正常使用時檢修周期為每年一次，檢修內(nèi)容包括柜內(nèi)主要部件、儀表的檢查、校準、清潔、維修、更換等。