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大塚電子(蘇州)有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地蘇州市
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更新時(shí)間:2024-10-15 07:51:30瀏覽次數(shù):47次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 制藥網(wǎng)本公司的MCPD series在線膠卷評(píng)價(jià)系統(tǒng),由于光學(xué)式非接觸·非破壞的膜厚,濃度,顏色等的檢查可能。可測(cè)定膜厚范圍為65nm~92μm和薄膜到厚膜都對(duì)應(yīng)。(折射率1.5時(shí))測(cè)量原理為分光干涉方式,在實(shí)現(xiàn)高測(cè)量再現(xiàn)性的同時(shí),還支持多層厚度測(cè)量。由于采用了獨(dú)自算法,可以高速實(shí)時(shí)監(jiān)控,所以作為在線膠片監(jiān)控,我們提出了的系統(tǒng)。...
產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
● 工藝過程中的薄膜高速測(cè)量
●最短曝光時(shí)間1ms~※根據(jù)規(guī)格
●支持遠(yuǎn)程測(cè)量
●膜厚測(cè)量范圍65nm~92μm(換算為SiO2)
基本配置
多點(diǎn)測(cè)量點(diǎn)切換對(duì)應(yīng)系統(tǒng)
在多點(diǎn)測(cè)量點(diǎn)切換對(duì)應(yīng)系統(tǒng)中,通過在TD方向預(yù)先設(shè)置任意寬度的多分支光纖,可以在不驅(qū)動(dòng)光纖的情況下測(cè)量TD方向的膜厚分布。可以作為涂層的條件和實(shí)時(shí)監(jiān)視器使用。
檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)為1式,通過光纖的光路切換可以進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)定。
橫動(dòng)單元對(duì)應(yīng)系統(tǒng)
在橫動(dòng)單元對(duì)應(yīng)系統(tǒng)中,通過在TD方向上驅(qū)動(dòng)橫動(dòng)單元,可以以任意寬度和任意間距測(cè)量TD方向的膜厚分布。
可以作為涂層條件提出和實(shí)時(shí)監(jiān)控使用。 由于通過排線單元的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量,因此無需準(zhǔn)備多臺(tái)檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理。
即使在真空環(huán)境下也可以在多點(diǎn)進(jìn)行反射、透射光譜測(cè)定
通過使用各種法蘭對(duì)應(yīng)的耐真空纖維,可以在高真空下測(cè)量反射、透射光譜。
另外,膜厚運(yùn)算不易受到基膜的上下移動(dòng)的影響,并且采用精度良好的薄膜測(cè)量大冢電子獨(dú)自的算法,可以作為實(shí)時(shí)監(jiān)視器使用。
式樣
MCPD-9800仕様
MCPD-6800仕様
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