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大塚電子（蘇州）有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地蘇州市
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更新時間：2024-10-15 07:47:41瀏覽次數(shù)：51次
聯(lián)系我時，請告知來自 制藥網(wǎng)產(chǎn)品信息 特 點 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（ 第4834847號） 使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng) 可嵌入至各種制造設(shè)備。 實時測量膜厚 可對應(yīng)遠程操作、多點測量...
產(chǎn)品信息
特 點
●采用分光干涉法
●搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（ 第4834847號）
●使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)
●可嵌入至各種制造設(shè)備。
●實時測量膜厚
●可對應(yīng)遠程操作、多點測量
●采用壽命長、安全性高的白色LED光源
測量項目
●多層膜厚解析
用 途
●光學(xué)薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）
●FPD相關(guān)（光刻膠、SOI、SiO2等）
設(shè)備構(gòu)成
單點型
●半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量
●玻璃基板的面內(nèi)分布測量
多點型
●實時測量
●流向品質(zhì)管理
●真空室適用
導(dǎo)線型
●實時測量
●寬度方向品質(zhì)管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
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